[實用新型]一種薄膜晶體管膜層有效

申請號：	201721865358.6	申請日：	2017-12-27
公開（公告）號：	CN207690800U	公開（公告）日：	2018-08-03
發明（設計）人：	陳龍龍;張建華;李痛快;李喜峰	申請（專利權）人：	上海大學
主分類號：	H01L29/417	分類號：	H01L29/417;H01L29/423;H01L21/28
代理公司：	北京高沃律師事務所 11569	代理人：	王戈
地址：	201900***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	膜層圖案化膜層薄膜晶體管本實用新型第一膜層工藝周期直接設置光刻旋涂制造
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【權利要求書】：

1.一種薄膜晶體管膜層，其特征在于，所述膜層包括：第一膜層、第二膜層、第三膜層、第五膜層、第一圖案化膜層和第二圖案化膜層，所述第一膜層上設置有所述第二膜層，所述第二膜層上設置有所述第三膜層，所述第三膜層上設置有所述第五膜層，所述第五膜層上設置有所述第一圖案化膜層，所述第一圖案化膜層上設置有所述第二圖案化膜層。

2.根據權利要求1所述的膜層，其特征在于，所述膜層還包括第四膜層，所述第四膜層位于所述第三膜層上，所述第四膜層用于溶解顯影液得到所述第五膜層。

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