[實用新型]一種麥克風和電容式傳感器集成結構有效
| 申請號： | 201721860574.1 | 申請日： | 2017-12-26 |
| 公開（公告）號： | CN207802370U | 公開（公告）日： | 2018-08-31 |
| 發明（設計）人： | 徐香菊;李向光;端木魯玉;關若飛 | 申請（專利權）人： | 歌爾科技有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 曾晨;馬佑平 |
| 地址： | 266104 山東省青島*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容式傳感器模塊 麥克風模塊 基底 集成結構 中腔 電容式傳感器 麥克風 本實用新型 體積小 開孔 | ||
1.一種麥克風和電容式傳感器集成結構，其特征在于，包括基底、麥克風模塊、電容式傳感器模塊和中腔；其中，
所述基底上設有凹槽，所述麥克風模塊和所述電容式傳感器模塊均位于所述凹槽內，且所述基底、所述麥克風模塊和所述電容式傳感器模塊構成所述中腔；
所述基底上設有與所述中腔相連通的開孔，以使得所述中腔與外界相連通。
2.根據權利要求1所述的麥克風和電容式傳感器集成結構，其特征在于，所述麥克風模塊相較于所述電容式傳感器模塊鄰近所述凹槽的開口。
3.根據權利要求1所述的麥克風和電容式傳感器集成結構，其特征在于，所述麥克風模塊包括麥克風背極和麥克風膜片，所述麥克風背極設于所述麥克風膜片的表面上；
所述電容式傳感器模塊包括傳感器膜片、傳感器背極以及位于所述傳感器膜片和所述傳感器背極之間的真空腔，所述傳感器膜片相較于所述傳感器背極鄰近所述中腔。
4.根據權利要求1所述的麥克風和電容式傳感器集成結構，其特征在于，所述麥克風膜片相較于所述麥克風背極遠離所述中腔。
5.根據權利要求1所述的麥克風和電容式傳感器集成結構，其特征在于，所述麥克風模塊位于所述凹槽的側壁上，所述電容式傳感器模塊位于所述凹槽的底部。
6.根據權利要求5所述的麥克風和電容式傳感器集成結構，其特征在于，所述基底上設有封裝連接部，所述封裝連接部位于所述凹槽的開口端處。
7.根據權利要求1所述的麥克風和電容式傳感器集成結構，其特征在于，所述基底上設有多個開孔，且所述開孔均勻環繞所述中腔設置。
8.根據權利要求1所述的麥克風和電容式傳感器集成結構，其特征在于，所述基底為硅基底。
9.根據權利要求1所述的麥克風和電容式傳感器集成結構，其特征在于，所述基底內設有麥克風模塊焊盤和電容式傳感器模塊焊盤，所述麥克風模塊焊盤和所述電容式傳感器模塊焊盤分別與所述麥克風模塊和所述電容式傳感器模塊相連接。
10.根據權利要求1至9任一項中所述的麥克風和電容式傳感器集成結構，其特征在于，所述電容式傳感器模塊為壓力傳感器模塊。
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