[實用新型]一種激光陀螺腔體清洗裝置

有效

• 申請號: 201721852133.7
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN207872690U
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發明（設計）人: 王利偉;張紅波;王鵬
• 申請（專利權）人: 華中光電技術研究所（中國船舶重工集團公司第七一七研究所）
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00
• 代理公司: 武漢凌達知識產權事務所(特殊普通合伙) 42221
• 代理人: 劉念濤;宋國榮

1.一種激光陀螺腔體清洗裝置，其特征在于：包括用于承載激光陀螺腔體（9）的腔體固定工裝（4）、用于使腔體（9）內的氦氖氣體放電的直流電源（5）以及用于腔體（9）內氣體置換的真空臺（7），還包括分別位于腔體（9）兩側端面上用于給腔體（9）加載射頻能量的第一外置電極板（6）和第二外置電極板（8），所述的真空臺（7）與腔體（9）氣密連接，所述的第一外置電極板（6）和第二外置電極板（8）通過同軸線纜（3）依次連接有射頻匹配器（2）和射頻電源（1）。

2.根據權利要求1所述的一種激光陀螺腔體清洗裝置，其特征在于，所述的第一外置電極板（6）包括配合使用的第一電極槽（15）、第一銅質電極（16）和第一蓋板（17），所述的第二外置電極板（8）包括配合使用第二電極槽（10）、第二銅質電極（11）和第二蓋板（12），所述的第一外置電極板（6）和第二外置電極板（8）通過螺釘（14）將腔體（9）一體固定連接在腔體固定工裝（4）上。

3.根據權利要求2所述的一種激光陀螺腔體清洗裝置，其特征在于，所述的第一銅質電極（16）和第二銅質電極（11）上分別設置有向外延伸的第一電極桿和第二電極桿，所述的同軸線纜（3）的輸出終端設置有兩個可插拔接頭。

4.根據權利要求3所述的一種激光陀螺腔體清洗裝置，其特征在于，所述的第一電極槽（15）和螺釘（14）之間還設置有墊片（13）。