[實用新型]大氣壓介質阻擋放電增強型直流交替電極低溫等離子體射流陣列

有效

• 申請號: 201721850342.8
• 申請日: 2017-12-26
• 公開（公告）號: CN207638962U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 湯潔;雷冰瑩;李靜;王靜;王屹山;張同意;趙衛;段憶翔
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 胡樂

1.大氣壓介質阻擋放電增強型直流交替電極低溫等離子體射流陣列，包括具有進氣端口和出氣端口的主體腔室、直流主放電電極和一對介質阻擋放電的平板電極，主體腔室由絕緣材料制成；所述出氣端口為窄縫狀，主體腔室內靠近出氣端口的部分形成窄縫腔體，出氣端口的寬度與厚度之比為5～100：1；所述直流主放電電極設置在窄縫腔體處，所述平板電極位于進氣端口與主放電電極之間用來預電離工作氣體；其特征在于：

所述直流主放電電極為多個柱形的陽極、陰極，均沿出氣端口的厚度方向插入窄縫腔體；多個陽極和陰極沿平行于出氣端口的直線依次交替布置，以柱面作為放電端面，組成直流放電單元的線型陣列，設陽極個數為n，則陰極個數為n+1或n-1。

2.根據權利要求1所述的大氣壓介質阻擋放電增強型直流交替電極低溫等離子體射流陣列，其特征在于：位于所述線型陣列的兩端的直流主放電電極是偶數類的直流主放電電極；奇數類的直流主放電電極與其相鄰的兩個直流主放電電極并聯后，再串聯一個限流電阻構成回路；各個奇數類的直流主放電電極所在的回路彼此構成并聯結構，且相應串聯的限流電阻相等。

3.根據權利要求2所述的大氣壓介質阻擋放電增強型直流交替電極低溫等離子體射流陣列，其特征在于：在直流主放電電極中，若陽極數量比陰極數量多一，則直流主放電電極的回路上限流電阻一端與陰極相接，另一端接地；若陰極數量比陽極數量多一，則直流主放電電極的回路上限流電阻一端與陽極相接，另一端接電源高壓端。

4.根據權利要求1所述的大氣壓介質阻擋放電增強型直流交替電極低溫等離子體射流陣列，其特征在于：所述直流主放電電極的形狀為圓柱體。

5.根據權利要求4所述的大氣壓介質阻擋放電增強型直流交替電極低溫等離子體射流陣列，其特征在于：各個直流主放電電極等間距排列，間距為5-20mm，直流主放電電極的直徑均為0.1-1mm。

6.根據權利要求1所述的大氣壓介質阻擋放電增強型直流交替電極低溫等離子體射流陣列，其特征在于：所述主體腔室內整體為長方體的窄縫腔體，平板電極的金屬表面沿長方體寬邊平行緊貼窄縫腔體外壁上，窄縫腔體的腔壁作為平板電極介質阻擋放電的絕緣介質層；平板電極與直流主放電電極沿工作氣體流速方向的間距不小于1mm。

7.根據權利要求1所述的大氣壓介質阻擋放電增強型直流交替電極低溫等離子體射流陣列，其特征在于：為平板電極提供放電電壓的電源采用交流電源，交流電源的頻率從工頻至13.56MHz的射頻范圍內可調，電源模式為連續或脈沖形式；其中，平板電極的放電電流有效值不大于20mA。

8.根據權利要求7所述的大氣壓介質阻擋放電增強型直流交替電極低溫等離子體射流陣列，其特征在于：平板電極介質阻擋放電功率不大于2W，工作氣體流速為10～100L/min。

9.根據權利要求1所述的大氣壓介質阻擋放電增強型直流交替電極低溫等離子體射流陣列，其特征在于：所述主體腔室由聚四氟乙烯或絕緣陶瓷制成。

10.根據權利要求1所述的大氣壓介質阻擋放電增強型直流交替電極低溫等離子體射流陣列，其特征在于：所述直流主放電電極和平板電極均為銅、鋁、鎢、鎳、鉭或鉑制成的電極。