[實用新型]沉積金剛石涂層的裝置

有效

• 申請號: 201721839690.5
• 申請日: 2017-12-25
• 公開（公告）號: CN207775347U
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發明（設計）人: 唐永炳;黃磊;王陶;楊揚
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/458
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 左光明

1.一種沉積金剛石涂層的裝置，包括真空腔室和設置在所述真空腔室內的樣品臺，其特征在于：所述樣品臺包括傳動桿和若干夾具，每一所述夾具包括夾持部和與所述夾持部固定連接的連桿，在所述連桿上設有從動輪，所述傳動桿驅動所述從動輪轉動實現所述夾持部的旋轉。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述樣品臺還包括若干熱交換器件，每一所述熱交換器件具有兩端開口的通管狀腔體，每一所述夾具的所述夾持部設置在所述通管狀腔體內。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述樣品臺還包括若干熱交換器件，每一所述熱交換器件具有兩端開口的通管狀腔體，每一對所述夾具的所述夾持部設置在所述通管狀腔體內，且一對所述夾持部是相對設置。

4.根據權利要求2或3所述的裝置，其特征在于：所述熱交換器件為雙層通管，所述夾持部設置在所述雙層通管的管腔內，在所述雙層通管的雙層管壁之間填充有熱量吸收劑，且若干所述熱交換器件所含的所述熱量吸收劑通過管道連通。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于：所述管道的一端連接有用于所述熱量吸收劑流入所述熱交換器件內的熱量吸收劑循環支架管，所述管道的一端連接有用于所述熱量吸收劑流出的另一熱量吸收劑循環支架管。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于：所述傳動桿為雙向齒條，所述從動輪與所述雙向齒條嚙合。

7.根據權利要求1-3、5-6任一項所述的裝置，其特征在于：還包括承載臺，所述承載臺包括動力驅動系統和動力輸出連桿，所述動力驅動系統驅動所述動力輸出連桿旋轉，所述動力輸出連桿驅動所述傳動桿連移動或旋轉。

8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于：所述動力輸出連桿上設有螺紋，所述傳動桿上設有連接齒輪，且所述連接齒輪與所述動力輸出連桿上設的所述螺紋嚙合。

9.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于：所述承載臺設置在所述樣品臺的下方，且所述承載臺還包括升降部件，所述升降部件控制所述承載臺的升降。