[實(shí)用新型]氣相沉積爐

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721832487.5
• 申請(qǐng)日: 2017-12-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207684897U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱文博;銀波;范協(xié)誠(chéng);王文;夏高強(qiáng);薛明華
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 新特能源股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C01B33/113
• 分類(lèi)號(hào): C01B33/113
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 羅建民;鄧伯英

1.一種氣相沉積爐，包括爐體，其特征在于，還包括爐體內(nèi)設(shè)置的：

加熱腔室，用于加熱原料反應(yīng)生成產(chǎn)物并使得產(chǎn)物變成氣體；

沉積腔室，設(shè)置于加熱腔室上方與加熱腔室密封連接，且與加熱腔室通過(guò)連通通道連通，沉積腔室內(nèi)設(shè)置有可轉(zhuǎn)動(dòng)的沉積機(jī)構(gòu)，沉積機(jī)構(gòu)用于沉積產(chǎn)物，沉積腔室開(kāi)設(shè)有沉積腔室開(kāi)口，通過(guò)沉積腔室開(kāi)口調(diào)節(jié)沉積腔室內(nèi)的氣氛；

接收機(jī)構(gòu)，用于接收從沉積機(jī)構(gòu)上落下的沉積產(chǎn)物，連通通道穿過(guò)接收機(jī)構(gòu)伸入到沉積腔室。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣相沉積爐，其特征在于，接收機(jī)構(gòu)為接收盤(pán)，連通通道穿過(guò)接收盤(pán)的底部，且連通通道朝向沉積腔室的開(kāi)口端高于接收盤(pán)的底部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣相沉積爐，其特征在于，連通通道的軸向與接收盤(pán)底部垂直。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣相沉積爐，其特征在于，沉積機(jī)構(gòu)的正投影視圖的外圍在接收盤(pán)的開(kāi)口的正投影視圖的外圍內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4任意一項(xiàng)所述的氣相沉積爐，其特征在于，沉盤(pán)的正投影視圖為圓形，接收機(jī)構(gòu)的正投影視圖為圓形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～4任意一項(xiàng)所述的氣相沉積爐，其特征在于，連通通道至少為兩個(gè)，連通通道的正投影視圖在接收機(jī)構(gòu)的正投影視圖上均勻排布。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～4任意一項(xiàng)所述的氣相沉積爐，其特征在于，沉積腔室內(nèi)還設(shè)置有：刮取機(jī)構(gòu)，用于刮取沉積機(jī)構(gòu)上的沉積產(chǎn)物。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～4任意一項(xiàng)所述的氣相沉積爐，其特征在于，沉積機(jī)構(gòu)具有中空的沉積機(jī)構(gòu)腔體，沉積機(jī)構(gòu)腔體用于通入冷源對(duì)沉積機(jī)構(gòu)進(jìn)行冷卻。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣相沉積爐，其特征在于，還包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，沉積機(jī)構(gòu)通過(guò)轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)沉積機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)軸內(nèi)設(shè)置有冷源通道，冷源通道與沉積機(jī)構(gòu)腔體連通，冷源通過(guò)冷源通道進(jìn)入到沉積機(jī)構(gòu)腔體內(nèi)對(duì)沉積機(jī)構(gòu)進(jìn)行冷卻。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～4任意一項(xiàng)所述的氣相沉積爐，其特征在于，加熱腔室設(shè)置有加熱腔室入口，用于向加熱腔室內(nèi)通入非氧化性氣體。