[實用新型]一種高效石英槽制造裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721826008.9
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN207874595U
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發(fā)明（設計）人: 沈利祥;吳然紅;楊軍
• 申請（專利權）人: 杭州大和熱磁電子有限公司
• 主分類號: B28D1/24
• 分類號: B28D1/24;B28D7/00
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 尉偉敏;方琦

本實用新型公開了一種高效石英槽制造裝置，包括軸套、壓板、置于軸套和壓板之間的多件刀具，多件刀具之間分別設有隔板，隔板厚度與溝齒間隔相吻合，刀具與溝齒寬度相吻合，本實用新型通過壓板將多件刀具套裝并壓緊在軸套上，集合成一個整體的多刀具制造裝置，一次加工能同時對石英溝棒上的多個溝齒進行加工，大大提高了加工效率和企業(yè)產能，降低了加工成本，節(jié)約了加工時間，滿足產品加工的短貨期、低價格要求。

技術領域

本實用新型涉及到一種切削加工領域技術領域，尤其涉及到一種能同時加工多個溝槽的高效石英槽制造裝置。

背景技術

石英溝棒作為石英舟的重要部件，在硅片的熱處理過程中起到非常重要的作用，近年來隨著半導體技術的不斷發(fā)展，單次工藝能夠處理硅片的數量越來越多，石英溝棒的溝齒數量也不斷增加，如圖1所示，石英溝棒的頂面設有多個均勻排布的溝齒，現有溝齒的加工方法采用成型刀具，對溝齒進行連續(xù)加工，完成一個溝齒再繼續(xù)對下一個溝齒進行加工。一根400齒的溝棒需要十幾個小時才能加工完成，加工效率非常低下，嚴重降低了工廠產能，提高了加工成本。

實用新型內容

本實用新型主要解決現有溝齒加工效率低下、成本高昂的技術問題；提供了一種能同時加工多個溝槽的高效石英槽制造裝置。

為了解決上述存在的技術問題，本實用新型主要是采用下述技術方案：

本實用新型的一種高效石英槽制造裝置，用于石英溝棒上的溝齒加工，所述石英溝棒固置于加工機床的工作臺上，所述裝置包括軸套、壓板、置于軸套和壓板之間的多件刀具，所述多件刀具之間分別設有隔板，所述隔板厚度與所述石英溝棒上的溝齒間隔相吻合，所述軸套固設于加工機床的旋轉軸上，所述刀具與溝齒寬度相吻合且對應溝齒，軸套、壓板和隔板的外徑均小于刀具的直徑，通過壓板將多件刀具套裝并壓緊在軸套上，集合成一個整體的多刀具制造裝置，一次加工能同時對石英溝棒上的多個溝齒進行制造，大大提高了加工效率和企業(yè)產能，降低了加工成本，節(jié)約了加工時間，滿足產品加工的短貨期、低價格要求。

作為優(yōu)選，所述刀具數量為兩件，所述兩件刀具之間設有一件隔板。

作為優(yōu)選，所述軸套包括一體結構的軸頸和端面法蘭，所述軸頸中央設有與所述加工機床旋轉軸相適配的軸孔，端面法蘭上設有若干均布的螺紋孔，所述壓板中央設有與軸頸相適配的通孔，壓板邊沿設有與上述螺紋孔一一對應且與螺紋孔相適配的沉孔，所述刀具中央設有與軸頸相吻合的通孔，刀具邊沿設有與所述螺紋孔一一對應且與螺紋孔相適配的裝配孔，所述隔板中央設有與所述軸頸相適配的通孔，隔板邊沿設有與所述螺紋孔一一對應且與螺紋孔相適配的裝配孔，壓板、刀具和隔板套設于軸套的軸頸上且通過緊固螺桿與端面法蘭固定，各部件利用通孔套裝在軸頸上，緊固螺桿穿過相應的裝配孔將各部件緊固在軸套上，形成整體的制造裝置，緊固螺桿的頭部嵌設于壓板的沉孔內，保證壓板外表面的平整。

作為優(yōu)選，所述端面法蘭上還設有環(huán)狀凹槽。

本實用新型的有益效果是：通過壓板將多件刀具套裝并壓緊在軸套上，集合成一個整體的多刀具制造裝置，一次加工能同時對石英溝棒上的多個溝齒進行制造，大大提高了加工效率和企業(yè)產能，降低了加工成本，節(jié)約了加工時間，滿足產品加工的短貨期、低價格要求。

附圖說明

圖1是石英溝棒的結構示意圖。

圖2是本實用新型的一種結構示意圖。

圖3是本實用新型的爆炸結構示意圖。

圖4是本實用新型的使用示意圖。

圖中1.石英溝棒，11.溝齒，2.軸套，21.軸頸，22.端面法蘭，23.軸孔，24.螺紋孔，25.環(huán)狀凹槽，3.壓板，31.通孔，32.沉孔，4.刀具，41.裝配孔，5.隔板，6.緊固螺桿。

具體實施方式