[實(shí)用新型]干冰感測(cè)模塊與自動(dòng)清洗系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721825317.4
• 申請(qǐng)日: 2017-12-22
• 公開（公告）號(hào): CN207872689U
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳俊良
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鐳射谷科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B7/00
• 分類號(hào): B08B7/00
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

本實(shí)用新型公開了一種干冰感測(cè)模塊以及一種自動(dòng)清洗系統(tǒng)，其中，該干冰感測(cè)模塊包括干冰噴出裝置以及感溫裝置。干冰噴出裝置用以提供干冰粉末至多個(gè)芯片。感溫裝置以非接觸方式感測(cè)該干冰粉末的溫度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種干冰感測(cè)模塊與自動(dòng)清洗系統(tǒng)，尤其是指一種以非接觸干冰氣體感測(cè)的方式的干冰感測(cè)模塊與自動(dòng)清洗系統(tǒng)。

背景技術(shù)

系統(tǒng)級(jí)封裝的芯片具有完整的功能，其中Wifi、藍(lán)牙等主動(dòng)零件對(duì)于電路中的被動(dòng)組件造成干擾，因此必須通過真空濺鍍對(duì)芯片進(jìn)行電磁隔離。激光在切口上所產(chǎn)生的微量焦渣黏附在芯片上，影響到濺鍍層的附著強(qiáng)度，使屏蔽金屬層無法有效附著而容易脫落，進(jìn)而產(chǎn)生電磁泄漏，因此必須在濺鍍之前清洗掉黏附在芯片上的焦渣。

現(xiàn)有的清洗方法是用毛刷水洗的方式，此舉不僅效率低且需要廢水處理。另一清洗方法是用干冰清洗。干冰清洗是向附著有污染物的被清洗物的表面噴吹固體干冰顆粒，通過干冰顆粒的碰撞及升華來從被清洗物的表面去除污染物者。上述過程之中，往往是在干冰噴出器的內(nèi)部(或干冰噴出器的噴出口前安裝一溫度感知器，以接觸氣體的方式檢測(cè)溫度。然而，此偵測(cè)方式導(dǎo)致溫度感知器外部會(huì)接觸到干冰而降溫，甚至導(dǎo)致溫度感知器的損壞，進(jìn)而導(dǎo)致檢測(cè)溫度的不準(zhǔn)確。

因此，如何提供一種干冰感測(cè)模塊與自動(dòng)清洗系統(tǒng)來避免上述所遭遇到的問題，是業(yè)界目前極需解決的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種干冰感測(cè)模塊與自動(dòng)清洗系統(tǒng)，可避免感溫裝置因接觸干冰粉末而損壞的問題，可維持并確保整體自動(dòng)清洗系統(tǒng)清洗程度。

本實(shí)用新型的一實(shí)施例提出一種干冰感測(cè)模塊，干冰感測(cè)模塊包括一干冰噴出裝置以及一感溫裝置。干冰噴出裝置用以提供一干冰粉末至多個(gè)芯片。感溫裝置以非接觸方式感測(cè)干冰粉末的溫度。

本實(shí)用新型的一實(shí)施例提出一種自動(dòng)清洗系統(tǒng)，包括一輸入設(shè)備、一清洗裝置、一干冰感測(cè)模塊以及一輸出裝置。輸入設(shè)備用以盛裝多個(gè)芯片。清洗裝置位于輸入設(shè)備的下游，清洗裝置用以固定自輸入設(shè)備傳送的各芯片。干冰感測(cè)模塊連接于清洗裝置，干冰感測(cè)模塊包括一干冰噴出裝置以及一感溫裝置。干冰噴出裝置用以提供一干冰粉末至多個(gè)芯片。感溫裝置以非接觸方式感測(cè)干冰粉末的溫度。輸出裝置位于清洗裝置的下游，輸出裝置用以接收清洗裝置清洗后的各芯片。

在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述感溫裝置提供一感溫光束，感溫光束感測(cè)干冰粉末噴射至芯片的溫度。

在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述感溫裝置配置于干冰噴出裝置的外側(cè)，感溫裝置未接觸于干冰噴出裝置。

在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述干冰噴出裝置包含一噴射通道，干冰粉末通過噴射通道，感溫裝置不位于噴射通道之內(nèi)。

在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述自動(dòng)清洗系統(tǒng)更包括一烘干裝置，烘干裝置位于干冰感測(cè)模塊的下游，烘干裝置用以烘干各芯片。

在本實(shí)用新型的一實(shí)施例中，上述自動(dòng)清洗系統(tǒng)更包括一集塵過濾器、一鼓風(fēng)機(jī)以及一電加熱器。集塵過濾器連通于清洗裝置。鼓風(fēng)機(jī)連接于集塵過濾器。電加熱器連接于鼓風(fēng)機(jī)，烘干裝置連接于電加熱器。

基于上述，在本實(shí)用新型所提出的干冰感測(cè)模塊與自動(dòng)清洗系統(tǒng)中，本實(shí)用新型可通過感溫裝置的感溫光束感測(cè)干冰粉末噴射至多個(gè)芯片的溫度。除此之外，由于感溫裝置不位于干冰噴出裝置的噴射通道之內(nèi)，干冰粉末通過噴射通道，故干冰粉末不會(huì)通過感溫裝置，并且，本實(shí)用新型也不是在干冰噴出裝置前方安裝感溫裝置，且感溫裝置未接觸于干冰噴出裝置，換言之，感溫裝置是以非接觸方式感測(cè)干冰粉末的溫度，故可避免感溫裝置因接觸干冰粉末而降溫，可降低感溫裝置損壞的問題，更能確保感溫裝置檢測(cè)干冰粉末溫度的正確性，故可維持并確保整體自動(dòng)清洗系統(tǒng)清洗程度。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型提供的干冰感測(cè)模塊的示意圖。