[實用新型]一種高可靠高壓二極管有效

申請號：	201721824609.6	申請日：	2017-12-22
公開（公告）號：	CN207719220U	公開（公告）日：	2018-08-10
發明（設計）人：	黃小鋒	申請（專利權）人：	常州星海電子股份有限公司
主分類號：	H01L29/861	分類號：	H01L29/861;H01L29/06;H01L23/29;H01L21/329
代理公司：	常州市華信天成專利代理事務所(普通合伙) 32294	代理人：	楊闖
地址：	213000***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	鈍化保護層上溝槽下溝槽本實用新型高壓二極管反向電壓晶圓本體高可靠玻璃鈍化保護層玻璃鈍化從上至下第二鎳層第一鎳層雙面玻璃上表面雙溝槽下表面卷曲延伸
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【權利要求書】：

1.一種高可靠高壓二極管，其特征在于：包括晶圓本體，所述晶圓本體從上至下依次包括P+區、N區以及N+區，所述P+區的四周設有上溝槽，所述N+區的四周設有下溝槽，所述上溝槽從P+區延伸至N區，所述P+區的上表面設有第一鎳層，所述N+區的下表面設有第二鎳層，所述上溝槽與下溝槽的表面均設有SIPOS鈍化保護層，所述SIPOS鈍化保護層的表面設有玻璃鈍化保護層，所述上溝槽的深度大于下溝槽的深度。

2.根據權利要求1所述的一種高可靠高壓二極管，其特征在于：所述上溝槽的深度為130μm-160μm，寬度為0.4-0.6mm，所述下溝槽的深度為60μm-80μm，寬度為0.1-0.15mm。

3.根據權利要求1所述的一種高可靠高壓二極管，其特征在于：所述SIPOS鈍化保護層的厚度為1μm-2μm，上溝槽中的玻璃鈍化層的厚度為60-80μm，下溝槽中的玻璃鈍化層的厚度為30-40μm。

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