[實用新型]真空干燥裝置

有效

• 申請號: 201721819861.8
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN207649229U
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發明（設計）人: 胡佳;陳穎
• 申請（專利權）人: 廣東聚華印刷顯示技術有限公司
• 主分類號: F26B5/04
• 分類號: F26B5/04;F26B21/00;F26B25/00;B41F23/04
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 林青中

本實用新型公開了一種真空干燥裝置，其包括干燥箱、抽真空組件以及吹氣組件。該真空干燥裝置通過對干燥腔室設置吹氣組件，可以對真空腔室進行補氣，以形成氣流，帶動待干燥樣品表面溶劑的揮發，有利于提高對高沸點溶劑的揮發效率。尤其是該吹氣組件具有高度調節件，該高度調節件可以用來調節吹氣噴頭與待干燥樣品之間的距離，從而能夠有效調節待干燥樣品表面的氣氛，有利于調節其干燥的速度；而吹氣噴頭的吹氣方向平行于待干燥樣品的表面，這樣不會對待干燥樣品的表面產生直接沖擊，可以有效保護待干燥樣品，防止其被破壞，可以保證生產良率。

技術領域

本實用新型涉及顯示器件技術領域，尤其是設計一種用于顯示器件制作的真空干燥裝置。

背景技術

有機電致發光器件(OLED)等顯示器件是一種自發光器件，具有電壓低，視角寬、響應速度快、溫度適應性好等優勢，是新一代的顯示技術。OLED是在電場作用下，空穴和電子分別從陽極和陰極注入，分別通過空穴注入層、空穴傳輸層和電子注入層、電子傳輸層，在發光層復合形成激子，激子輻射衰減發光。

OLED技術發展快速，給顯示界帶來巨大沖擊。目前打印和印刷技術被科學界公認為降低大尺寸OLED顯示生產成本的最佳途徑，所以工業界紛紛研究大尺寸OLED打印及印刷技術。然而，傳統的打印及印刷OLED存在諸多問題，例如印刷OLED通常會用到許多高沸點墨水，而這些高沸點墨水的使用導致了薄膜難以干燥，殘留的溶劑最終嚴重影響顯示屏的壽命，但是目前的加工技術中，對于如何去除這種溶劑，尚沒有較佳的處理技術。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種干燥效果好的用于OLED等顯示器件制作的真空干燥裝置。

一種真空干燥裝置，包括干燥箱、抽真空組件以及吹氣組件；其中，所述干燥箱具有用于放置待干燥樣品的干燥腔室；所述抽真空組件與所述干燥腔室連通以對所述干燥腔室進行抽氣處理；所述吹氣組件包括進氣管、吹氣噴頭及高度調節件，所述進氣管的一端用于與外接吹氣設備連接，另一端與所述吹氣噴頭連接，所述吹氣噴頭位于所述干燥腔室內，所述吹氣噴頭的吹氣方向平行于待干燥樣品的表面，所述高度調節件與所述吹氣噴頭連接以用于調節所述吹氣噴頭與待干燥樣品之間的距離。

在其中一個實施例中，所述吹氣噴頭具有多個吹氣口，多個所述吹氣口均布于所述吹氣噴頭的側壁上。

在其中一個實施例中，所述高度調節件為可伸縮的通氣桿，所述高度調節件的一端與所述進氣管連通，另一端與所述吹氣噴頭連通。

在其中一個實施例中，所述吹氣組件還包括設在所述進氣管的進氣端以對進入所述進氣管的氣體進行凈化處理的氣體凈化系統和/或設在所述進氣管上的進氣閥。

在其中一個實施例中，所述真空干燥裝置還包括抽氣分散頭，所述抽氣分散頭設于所述干燥腔室內，所述抽氣分散頭的側壁分布有多個抽氣孔，所述抽真空組件通過所述抽氣分散頭與所述干燥腔室連通。

在其中一個實施例中，所述真空干燥裝置還包括用于對所述干燥腔室的內部加熱的加熱組件和/或用于檢測所述干燥腔室內氣壓的氣壓檢測元件。

在其中一個實施例中，所述干燥箱具有多個所述干燥腔室，各所述干燥腔室均與所述抽真空組件連接，且各所述干燥腔室均對應設有所述吹氣噴頭及所述高度調節件。

在其中一個實施例中，各所述干燥腔室均設有調控閥門，所述抽真空組件通過所述調控閥門與所述干燥腔室連通。

在其中一個實施例中，所述抽真空組件包括第一真空泵、第二真空泵、第一抽氣管及第二抽氣管，所述第一真空泵與所述第一抽氣管連通，所述第二真空泵與所述第二抽氣管連通；

所述調控閥門為多通閥，各所述調控閥門均與所述第一抽氣管及所述第二抽氣管連通。

在其中一個實施例中，所述第一抽氣管及所述第二抽氣管均設有獨立的壓力檢測元件。