[實用新型]一種多晶硅還原爐用石英陶瓷隔熱罩

有效

• 申請號: 201721816373.1
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN207632509U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 陸佩蓉
• 申請（專利權）人: 上海均博復合材料科技有限公司
• 主分類號: C01B33/035
• 分類號: C01B33/035
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

1.一種多晶硅還原爐用石英陶瓷隔熱罩，其特征在于：包括采用石英陶瓷材料制成的隔熱罩，隔熱罩的外部設置有一個外被層，隔熱罩的上端設置有一連接耳，外被層呈圓柱形，其上下端均開口，中間具有一個容納腔，隔熱罩裝入于容納腔中，所述容納腔內壁以及隔熱罩外壁均設置有一組以上的密封槽，每組密封槽內均裝入一密封支撐環，密封支撐環兩側分別扣入于兩側的環形凹槽中。

2.如權利要求1所述的多晶硅還原爐用石英陶瓷隔熱罩，其特征在于：所述密封槽以及密封支撐環設置有兩組，兩組密封支撐環呈上下端分布設置。

3.如權利要求2所述的多晶硅還原爐用石英陶瓷隔熱罩，其特征在于：兩組密封支撐環之間形成一個冷卻腔，所述冷卻腔內填充冷卻液。

4.如權利要求1所述的多晶硅還原爐用石英陶瓷隔熱罩，其特征在于：所述密封支撐環采用硅膠材料制成，所述外被層采用隔熱材料制成，所述隔熱罩的中間具有一個隔熱腔，隔熱腔的底面設置一個通孔。