[實用新型]可貼裝磁敏器件及制造工藝

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721816129.5
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN207781650U
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 華良
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州友旺科技有限公司
• 主分類號: H01L43/02
• 分類號: H01L43/02;H01L43/12
• 代理公司: 北京成創(chuàng)同維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11449
• 代理人: 蔡純;張靖琳

公開了一種可貼裝磁敏器件包括：襯底；銻化銦薄膜，設(shè)置在所述襯底之上；至少兩個導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)，貫穿所述襯底的上下表面；其中，所述導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)的第一部分位于所述襯底上表面延伸與所述銻化銦薄膜相連，第二部分位于所述襯底下表面延伸形成焊盤。本實用新型提供的可貼裝磁敏器件，通過貫穿襯底上下表面的導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)及襯底下表面延伸出的焊盤，省略了導(dǎo)線打線工藝，避免了在銻化銦薄膜上方打線而損壞銻化銦薄膜，保證了可貼裝磁敏器件的質(zhì)量，提高了可貼裝磁敏器件的靈敏度和一致性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及磁敏器件領(lǐng)域，尤其涉及一種可貼裝磁敏器件及制造工藝。

背景技術(shù)

圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)中可貼裝磁敏器件的結(jié)構(gòu)剖視圖。如圖1所示，現(xiàn)有的可貼裝磁敏器件包括由下而上依次設(shè)置的襯底1、銻化銦薄膜2、電極3，通過打線工藝將導(dǎo)線4連接在電極3上。

由于電極3采用打線工藝，容易損傷位于電極之下的銻化銦薄膜2、導(dǎo)線兩端壓點易受應(yīng)力變化而斷裂，使產(chǎn)品存在可靠性問題。

當(dāng)現(xiàn)有技術(shù)中的可貼裝磁敏器件應(yīng)用于高要求的磁電轉(zhuǎn)換信號采集場合時，其外面需安裝金屬屏蔽罩，但因金屬絲高于銻化銦薄膜2表面，使銻化銦薄膜2表面不能緊貼于金屬屏蔽罩的取磁窗口，這樣，就會存在靈敏度偏低和一致性不好的情況，限制了可貼裝磁敏器件的應(yīng)用場合。

實用新型內(nèi)容

鑒于上述問題，本實用新型的目的在于提供一種可貼裝的可貼裝磁敏器件及制造工藝。

根據(jù)本實用新型的第一方面，提供一種可貼裝磁敏器件，包括：襯底；銻化銦薄膜，設(shè)置在所述襯底之上；至少兩個導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)，貫穿所述襯底的上下表面；其中，所述導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)的第一部分位于所述襯底上表面延伸與所述銻化銦薄膜相連，第二部分位于所述襯底下表面延伸形成焊盤。

優(yōu)選地，所述導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)的截面形狀至多為半圓。

優(yōu)選地，所述導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)貫穿襯底的第三部分表面鍍銅，所述導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)位于所述襯底上下表面的第一部分和第二部分為鍍金層。

優(yōu)選地，所述銻化銦薄膜覆蓋所述導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)的第一部分。

優(yōu)選地，所述可貼裝磁敏器件還包括：絕緣層，設(shè)置在所述銻化銦薄膜之上。

優(yōu)選地，所述絕緣層包裹所述銻化銦薄膜，并覆蓋所述導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述絕緣層的材料為三防漆或環(huán)氧樹脂。

優(yōu)選地，相鄰的可貼裝磁敏器件共用導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述銻化銦薄膜的形狀是對稱的。

優(yōu)選地，所述銻化銦薄膜的形狀為X形或十字形。

本實用新型提供的可貼裝磁敏器件，通過貫穿襯底上下表面的導(dǎo)電型通孔結(jié)構(gòu)及襯底下表面延伸出的焊盤，省略了導(dǎo)線打線工藝，避免了在銻化銦薄膜上方打線而損壞銻化銦薄膜，保證了可貼裝磁敏器件的質(zhì)量，提高了可貼裝磁敏器件的靈敏度和一致性。同時，因銻化銦薄膜上表面覆蓋絕緣層，該可貼裝磁敏器件無需二次封裝，可直接進(jìn)行表面貼裝技術(shù)(Surface Mount Technology，SMT)將該可貼裝磁敏器件貼裝于整機線路板中。

附圖說明

通過以下參照附圖對本實用新型實施例的描述，本實用新型的上述以及其他目的、特征和優(yōu)點將更為清楚，在附圖中：

圖1示出了現(xiàn)有技術(shù)中可貼裝磁敏器件的側(cè)剖視圖；

圖2示出了本實用新型實施例提供的可貼裝磁敏器件的俯視圖；

圖3示出了本實用新型實施例提供的可貼裝磁敏器件的仰視圖；

圖4示出了本實用新型實施例提供的可貼裝磁敏器件的側(cè)剖視圖；