[實用新型]一種新型探針位置檢測裝置

有效

• 申請號: 201721813075.7
• 申請日: 2017-12-22
• 公開（公告）號: CN207650303U
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發明（設計）人: 方果;孫冰;張建國;陳建環
• 申請（專利權）人: 深圳華美澳通傳感器有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R31/28
• 代理公司: 深圳市深軟翰琪知識產權代理有限公司 44380
• 代理人: 吳雅麗

本實用新型涉及一種新型探針位置檢測裝置，包括手臂型探針和檢測電路，檢測電路包括至少具有兩路ADC的單片機和電容傳感器，兩路ADC分別連接電容傳感器的兩極，探針位于電容傳感器下方，并緊靠電容傳感器下端，當探針受到向上的推力時，探針的一部分進入電容傳感器的兩極之間，使電容傳感器的電容值發生變化，單片機通過兩路ADC分別測量電容傳感器兩極的電壓，并以此計算電容傳感器的電容值變化來判斷探針位置。該檢測裝置可應用到所有手臂型探針的彎曲檢測上，實現容易，探針位置容易檢測判定，由于不必測量探針的電阻值、電壓值或電流值大小，所以即使有些集成電路連接的檢測電路本身攜帶電源，也不會造成電源短路，可以順利完成測量。

技術領域

本實用新型涉及檢測技術領域，尤其涉及一種新型探針位置檢測裝置。

背景技術

在集成電路及傳感器制造過程中，需要進行各種電氣性能的測試，測試用探針是一種常見的輔助工具，金屬材料的探針一端頂在集成電路或傳感器焊盤上，一端連接檢測電路，就可以檢測和收集集成電路及傳感器的各項性能指標。由于集成電路本身的特性，待測試觸點面積小，空間狹小，且探針本身比較細長，并沒有好的方法測試探針是否與待測試觸點接觸，探針本身與待測試觸點接觸是否良好，會直接影響產品參數指標，甚至影響產品加工。

現有技術主要有二種方法來確認接觸情況，一是采用人工目測法，由于存在視覺誤差和視覺疲勞，加上一般探針的位置比較狹小，不容易觀察，容易導致目測失誤；二是采用接觸測量法，檢測探針的電阻值、電壓值或電流值大小，如果沒有接觸好，則電阻值、電壓值或電流值會有相對應指示，但是，有些集成電路連接的檢測電路本身攜帶電源，如進行接觸測量，容易造成電源短路，從而無法完成測量。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種容易實現的、檢測方便簡捷的新型探針位置檢測裝置。

本實用新型提供的技術方案為：一種新型探針位置檢測裝置，包括手臂型探針和檢測電路，所述檢測電路包括至少具有兩路ADC的單片機和電容傳感器，所述兩路ADC分別連接電容傳感器的兩極，所述探針位于電容傳感器的下方，并緊靠電容傳感器的下端，當探針受到向上的推力時，探針的一部分進入電容傳感器的兩極之間，使電容傳感器的電容值發生變化，所述單片機通過兩路ADC分別測量電容傳感器兩極的電壓，并以此計算電容傳感器的電容值變化來判斷探針位置。

其中，所述電容傳感器的兩極由帶隔離的兩片薄金屬片組成。

其中，所述探針包括第一臂和第二臂，所述第一臂和第二臂之間的夾角為直角或鈍角。

其中，所述檢測裝置包括固定架，所述探針和電容傳感器設置在固定架上。

其中，所述檢測電路包括指示燈，所述指示燈與單片機電連接。

其中，所述指示燈為紅綠雙色LED燈。

其中，所述檢測電路包括蜂鳴器，所述蜂鳴器與單片機電連接。

其中，所述檢測電路包括顯示屏，所述顯示屏與單片機電連接。

其中，所述檢測電路還包括與所述單片機電連接的晶振電路、供電電路、基準電壓電路。

其中，所述單片機型號為STM32F103，所述ADC為12位。