[實用新型]一種晶圓自動檢測系統有效
| 申請號： | 201721812827.8 | 申請日： | 2017-12-22 |
| 公開（公告）號： | CN207650119U | 公開（公告）日： | 2018-07-24 |
| 發明（設計）人： | 黃雷 | 申請（專利權）人： | 昆山成功環?？萍加邢薰?/a> |
| 主分類號： | G01N21/892 | 分類號： | G01N21/892;B07C5/342 |
| 代理公司： | 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232 | 代理人： | 黃珩 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶圓 圖像處理裝置 自動檢測系統 工業相機 報警裝置 傳送裝置 控制器 種晶 傳送 動作指令信號 本實用新型 表面缺陷 產品標準 檢測位置 晶圓表面 連續檢測 判斷信號 傳送帶 分揀 破片 取像 流水線 拍照 圖像 檢測 分析 | ||
1.一種晶圓自動檢測系統，其特征在于，包括：
傳送裝置，通過其上設置的傳送帶進行晶圓傳送；
工業相機，其設置于所述傳送裝置的正上方，用于采集晶圓影像信息；
圖像處理裝置，用于根據對設于其內的產品標準參數和所述工業相機所取得圖像進行對比，來判斷晶圓是否合格，并發出判斷信號；
控制器，其實時接收所述圖像處理裝置得到的判斷信號，并經過分析、處理后發生相應動作指令信號；
報警裝置，其與上述控制器相連，并根據所接收的上述動作指令信號發出警報；
還包括與所述控制器相連的標識裝置；
所述標識裝置包括有噴墨單元；
所述傳送裝置其上設置有用于承載、運送所述晶圓的傳送帶，其通過位于兩端的傳動輪進行驅動。
2.根據權利要求1所述的晶圓自動檢測系統，其特征在于，還包括撿取機構，其與所述控制器相連，并根據所述動作指令信號對不合格晶圓進行撿取。
3.根據權利要求2所述的晶圓自動檢測系統，其特征在于，所述撿取機構包括真空吸盤。
4.根據權利要求1所述的晶圓自動檢測系統，其特征在于，所述控制器為PLC控制器。
5.根據權利要求1所述的晶圓自動檢測系統，其特征在于，所述工業相機為高速CCD相機。
6.根據權利要求1所述的晶圓自動檢測系統，其特征在于，所述警報為聲光警報。
7.根據權利要求1所述的晶圓自動檢測系統，其特征在于，所述圖像處理裝置包括一DSP數字信號處理器和一高速RISC簡化指令集計算機。
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