[實用新型]氣體激光裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721804706.9
• 申請日: 2017-12-21
• 公開（公告）號: CN207753290U
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發(fā)明（設計）人: 都丸仁;奈良久
• 申請（專利權）人: 極光先進雷射株式會社
• 主分類號: H01S3/03
• 分類號: H01S3/03;H01S3/034
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 陶海萍;王鍇

本實用新型提供一種氣體激光裝置，通過將窗架設置為位于比縮短狀態(tài)下的光路管的外側端部靠內側的位置處，能夠避免在對氣體激光裝置進行維修時窗架與其他部件發(fā)生碰撞，從而降低了窗發(fā)生破損的可能性。

技術領域

本實用新型涉及激光領域，尤其涉及一種氣體激光裝置。

背景技術

對于具有窗的氣體激光裝置，為了便于維修，一般將窗安裝在可拆裝的窗架上。例如，在進行窗的更換或者腔室的更換時，通過可拆裝的窗架將窗從腔室上拆下。圖1是現(xiàn)有的氣體激光裝置在工作狀態(tài)下的部分結構的一示意圖，圖2是現(xiàn)有的氣體激光裝置在維修狀態(tài)下的部分結構的一示意圖。如圖1所示，窗架1對窗2進行保持，窗架1通過窗架保持部3固定在腔室4上，在氣體激光裝置處于工作狀態(tài)時，光路管5的一端固定在腔室上，另一端固定在空腔板6上；如圖2所示，在氣體激光裝置處于維修狀態(tài)時，光路管5的一端固定在腔室上，另一端從空腔板6上拆下從而光路管5縮短。

例如，專利文獻1(JP2009-99575A)公開了類似的結構。

應該注意，上面對技術背景的介紹只是為了方便對本實用新型的技術方案進行清楚、完整的說明，并方便本領域技術人員的理解而闡述的。不能僅僅因為這些方案在本實用新型的背景技術部分進行了闡述而認為上述技術方案為本領域技術人員所公知。

實用新型內容

本實用新型的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，在上述現(xiàn)有的氣體激光裝置中，由于在維修狀態(tài)下，窗架1從光路管5的另一端突出，因此，在對氣體激光裝置進行維修時窗架1有可能與其他部件發(fā)生碰撞而導致窗架1和窗2的破損。

本實用新型實施例提供一種氣體激光裝置，將窗架設置為位于比縮短狀態(tài)下的光路管的外側端部靠內側的位置處，能夠避免在對氣體激光裝置進行維修時窗架與其他部件發(fā)生碰撞，從而降低了窗發(fā)生破損的可能性。

根據(jù)本實用新型實施例的第一方面，提供一種氣體激光裝置，所述氣體激光裝置具有：腔室，其內部容納有激光介質氣體；窗，其使激光透射；窗架，其對所述窗進行保持，所述窗架以可拆裝的方式安裝在所述腔室上；空腔板，其對氣體激光裝置的至少一部分進行保持，且所述空腔板與所述窗相對設置；以及可伸縮的光路管，其一端固定在所述腔室上，另一端以可拆裝的方式固定在所述空腔板上，所述光路管在從所述空腔板上拆下時縮短，在所述氣體激光裝置的軸向上，所述窗架位于比縮短狀態(tài)下的所述光路管的所述另一端靠內側的位置處。

根據(jù)本實用新型實施例的第二方面，其中，在所述氣體激光裝置的軸向上，所述窗架在外側具有缺口。

根據(jù)本實用新型實施例的第三方面，其中，所述缺口所在的平面與縮短狀態(tài)下的所述光路管的所述另一端的端面共面。

根據(jù)本實用新型實施例的第四方面，其中，在所述氣體激光裝置的軸向上，所述缺口所在的平面位于比縮短狀態(tài)下的所述光路管的所述另一端的端面靠內側的位置處。

根據(jù)本實用新型實施例的第五方面，其中，在所述氣體激光裝置的軸向上，所述光路管所在的區(qū)域覆蓋所述窗架所在的區(qū)域。

根據(jù)本實用新型實施例的第六方面，其中，所述窗為布儒斯特窗。

根據(jù)本實用新型實施例的第七方面，其中，所述氣體激光裝置還具有光柵、棱鏡和輸出鏡，所述氣體激光裝置具有包括第一空腔板和第二空腔板的兩個所述空腔板，所述第一空腔板保持所述光柵和所述棱鏡，所述第二空腔板保持所述輸出鏡，所述第一空腔板和所述第二空腔板被設置為夾著所述腔室。

根據(jù)本實用新型實施例的第八方面，其中，所述氣體激光裝置具有包括第一窗和第二窗的兩個所述窗，所述第一空腔板與所述第一窗相對設置，所述第二空腔板與所述第二窗相對設置。

本實用新型的有益效果在于：通過將窗架設置為位于比縮短狀態(tài)下的光路管的外側端部靠內側的位置處，能夠避免在對氣體激光裝置進行維修時窗架與其他部件發(fā)生碰撞，從而降低了窗發(fā)生破損的可能性。