[實用新型]一種光譜成像型微濾光片有效
| 申請號： | 201721803328.2 | 申請日： | 2017-12-19 |
| 公開（公告）號： | CN208140255U | 公開（公告）日： | 2018-11-23 |
| 發明（設計）人： | 唐文江 | 申請（專利權）人： | 湖南宏動光電有限公司 |
| 主分類號： | G01J3/02 | 分類號： | G01J3/02;G01J3/28 |
| 代理公司： | 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113 | 代理人： | 魏國先 |
| 地址： | 410000 湖南省長沙市高新技術開發*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光單元 微濾 襯底 微濾光片 工作波長 光譜成像 窄帶濾波 多通道 制備 帶寬 本實用新型 成像單元 尺寸確定 多層介質 目標光譜 柔性材料 單通道 集成度 透過率 硅片 濾光 石英 像元 匹配 干涉 | ||
【權利要求書】：
1.一種光譜成像型微濾光片，其特征在于：包括周期性微濾光單元和襯底，周期性微濾光單元制備在襯底上；所述周期性微濾光單元為具有特定工作波長、帶寬、透過率和抑止率的F-P型周期性干涉濾光多層介質膜。
2.根據權利要求1所述的光譜成像型微濾光片，其特征在于：所述襯底為根據目標光譜特性進行選擇的石英、硅片或者柔性材料襯底。
3.根據權利要求1所述的光譜成像型微濾光片，其特征在于：所述周期性微濾光單元與CCD探測器成像單元相匹配，周期性微濾光單元的大小根據CCD探測器的像元尺寸確定。
4.根據權利要求1所述的光譜成像型微濾光片，其特征在于：所述周期性微濾光單元為單通道窄帶濾波或多通道窄帶濾波的單元，帶寬小于5nm。
5.根據權利要求1所述的光譜成像型微濾光片，其特征在于：襯底上制備兩個、三個或者四個具有不同工作波長的周期性微濾光單元，形成多通道微濾光片。
6.根據權利要求1所述的光譜成像型微濾光片，其特征在于：所述周期性微濾光單元制備在襯底上采用紫外光刻、離子濺射鍍膜、電子束蒸發鍍膜和離子束刻蝕進行加工。
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