[實用新型]一種硅片拋光固定裝置

有效

• 申請號: 201721795882.0
• 申請日: 2017-12-21
• 公開（公告）號: CN209793413U
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發明（設計）人: 胡林寶
• 申請（專利權）人: 浙江游星電子科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/06
• 代理公司: 11548 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 李靜

本實用新型公開了一種硅片拋光固定裝置，包括第一支撐架和第二支撐架，所述第一支撐架和第二支撐架上端均安裝有固定臺，固定臺下端右側固定有限位架，限位架底端中部通過鉸接軸安裝有轉動桿，轉動桿左端設有第一腰形槽，第一腰形槽內部通過固定螺栓安裝有升降軸，升降軸上端安裝有導向桿，導向桿頂端安裝有夾持板，所述轉動桿右端中部安裝有第二腰形槽，第二腰形槽內部安裝有插桿。本實用新型，通過設有的轉動桿與升降軸之間的相互配合，實現著對硅片的高效固定，避免人工手動夾持所帶來的晃動，大大增加著硅片的拋光精度，同時操作簡單，也降低著工人的勞動強度，實用性強。

技術領域

本實用新型涉及硅片加工設備領域，具體是一種硅片拋光固定裝置。

背景技術

硅片，是制作集成電路的重要材料，通過對硅片進行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力。科學技術的發展不斷推動著半導體的發展。自動化和計算機等技術發展，使硅片（集成電路）這種高技術產品的造價已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應用于航空航天、工業、農業和國防，甚至悄悄進入每一個家庭。

在硅片出廠之前需要對硅片進行拋光，從而增加著硅片的表面光滑度，在硅片進行拋光時需要對硅片進行固定，然而現有的硅片在拋光固定時，大多使用人工夾持硅片進行拋光，這不僅容易產生晃動，而且還會額外增加工人的勞動強度，實用性不強。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種硅片拋光固定裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種硅片拋光固定裝置，包括第一支撐架和第二支撐架，所述第一支撐架和第二支撐架上端均安裝有固定臺，固定臺下端右側固定有限位架，限位架底端中部通過鉸接軸安裝有轉動桿，轉動桿左端設有第一腰形槽，第一腰形槽內部通過固定螺栓安裝有升降軸，升降軸上端安裝有導向桿，導向桿頂端安裝有夾持板，所述轉動桿右端中部安裝有第二腰形槽，第二腰形槽內部安裝有插桿。

作為本實用新型進一步的方案：所述固定臺中部設有與導向桿相互配合的導向孔。

作為本實用新型進一步的方案：所述第二支撐架中部均勻設有固定孔，固定孔內也安裝有插桿。

作為本實用新型進一步的方案：所述固定孔沿著第二支撐架上下豎直單向陣列。

作為本實用新型進一步的方案：所述轉動桿右端安裝有防滑套。

作為本實用新型再進一步的方案：所述導向桿為L型連桿。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

所述一種硅片拋光固定裝置，結構合理，設計新穎，通過設有的轉動桿與升降軸之間的相互配合，實現著對硅片的高效固定，避免人工手動夾持所帶來的晃動，大大增加著硅片的拋光精度，同時操作簡單，也降低著工人的勞動強度，實用性強。

附圖說明

圖1為一種硅片拋光固定裝置的結構示意圖。

圖2為一種硅片拋光固定裝置中導向架的俯視結構示意圖。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。