[實用新型]一種硅片拋光熱處理裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721795835.6
• 申請日: 2017-12-21
• 公開（公告）號: CN209793412U
• 公開（公告）日: 2019-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡林寶
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江游星電子科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/00;C30B33/02
• 代理公司: 11548 北京華仲龍騰專利代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 李靜

本實用新型公開了一種硅片拋光熱處理裝置，包括支撐座，支撐座上端兩側(cè)安裝有支撐架，支撐架頂端安裝有橫架，橫架上端中部安裝有拋光電機，拋光電機下端安裝有旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸中部安裝有旋轉(zhuǎn)凸輪，旋轉(zhuǎn)軸底端安裝有上固定座，上固定座兩端通過螺栓連接有下固定座，下固定座下端中部安裝有拋光軸，支撐座中部安裝有調(diào)節(jié)柱，調(diào)節(jié)柱下端中部安裝有從動齒輪，從動齒輪前端中部安裝有主動齒輪，調(diào)節(jié)柱上端安裝有工作臺，支撐架內(nèi)側(cè)上端安裝有引氣腔，引氣腔內(nèi)部安裝有活塞。本實用新型，實現(xiàn)拋光軸在拋光的同時還可以對硅片進行熱處理，既降低著工人額外安裝有熱處理裝置的工作強度，同時也增加著熱處理工藝與拋光工藝之間的適配性，實用性強。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及硅片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種硅片拋光熱處理裝置。

背景技術(shù)

硅片，是制作集成電路的重要材料，通過對硅片進行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導(dǎo)體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運算能力?？茖W(xué)技術(shù)的發(fā)展不斷推動著半導(dǎo)體的發(fā)展。自動化和計算機等技術(shù)發(fā)展，使硅片（集成電路）這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價已降到十分低廉的程度。這使得硅片已廣泛應(yīng)用于航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)和國防，甚至悄悄進入每一個家庭。

現(xiàn)有的硅片在拋光處理過程中，需要對其進行熱處理，但是現(xiàn)有的硅片拋光和熱處理裝置是分開的，在使用時，需要將熱處理裝置額外的裝載在拋光裝置上，這不僅額外的增加著工作強度，同時也無法使得熱處理裝置很好的與原來的拋光裝置進行很好的適配，實用性差。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種硅片拋光熱處理裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種硅片拋光熱處理裝置，包括支撐座，所述支撐座上端兩側(cè)安裝有支撐架，支撐架頂端安裝有橫架，橫架上端中部安裝有拋光電機，拋光電機下端安裝有旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸中部安裝有旋轉(zhuǎn)凸輪，旋轉(zhuǎn)軸底端安裝有上固定座，上固定座兩端通過螺栓連接有下固定座，下固定座下端中部安裝有拋光軸，所述支撐座中部安裝有調(diào)節(jié)柱，調(diào)節(jié)柱下端中部安裝有從動齒輪，從動齒輪前端中部安裝有主動齒輪，所述調(diào)節(jié)柱上端安裝有工作臺，工作臺上端外側(cè)安裝有夾持裝置，所述支撐架內(nèi)側(cè)上端安裝有引氣腔，引氣腔內(nèi)部安裝有活塞，活塞中部安裝有活塞桿，活塞桿另一端安裝有接觸板。

作為本實用新型進一步的方案：所述主動齒輪前端中部安裝有驅(qū)動軸，驅(qū)動軸前端安裝有驅(qū)動手柄。

作為本實用新型進一步的方案：所述引氣腔下端連接有噴氣管，引氣腔上端通過進氣管連接有加熱箱，加熱箱上端設(shè)有吸氣管。

作為本實用新型進一步的方案：所述支撐座下端兩側(cè)安裝有支撐腿。

作為本實用新型進一步的方案：所述接觸板與引氣腔之間的活塞桿外側(cè)設(shè)有緩沖彈簧。

作為本實用新型再進一步的方案：所述拋光軸下端安裝有拋光輪，拋光輪下端均勻設(shè)有凸點。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

所述一種硅片拋光熱處理裝置，結(jié)構(gòu)合理，設(shè)計新穎，通過設(shè)有的引氣腔與旋轉(zhuǎn)凸輪之間的相互配合，實現(xiàn)拋光軸在拋光的同時還可以對硅片進行熱處理，既降低著工人額外安裝有熱處理裝置的工作強度，同時也增加著熱處理工藝與拋光工藝之間的適配性，實用性強。

附圖說明

圖1為一種硅片拋光熱處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為一種硅片拋光熱處理裝置中主動齒輪與從動齒輪的配合側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本實用新型中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。