[實用新型]一種二極管酸洗裝置有效
| 申請號: | 201721791767.6 | 申請日: | 2017-12-20 |
| 公開(公告)號: | CN208062026U | 公開(公告)日: | 2018-11-06 |
| 發明(設計)人: | 沈海斌 | 申請(專利權)人: | 南潯雙林永欣電子元件廠 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 朱月芬 |
| 地址: | 313014 浙江省湖州市*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 二極管 酸液箱 豎架 酸洗裝置 酸洗板 酸洗槽 內層 酸洗 本實用新型 加熱腔 上橫架 均布 支架 滲漏檢測儀 一體成型的 安全性能 底部外壁 兩端對稱 溫度計 供液管 下橫架 插孔 橫架 內卡 熱管 提桿 懸臂 去除 對稱 殘留 保證 | ||
1.一種二極管酸洗裝置,其特征在于:包括支架(1)、酸洗槽(2)和酸液箱(3),所述支架(1)包括一體成型的下橫架(11)、第一豎架(12)、上橫架(13)和第二豎架(14),所述酸液箱(3)固定在上橫架(13)上,所述酸液箱(3)設有內層(31)和外層(32),所述內層(31)和外層(32)之間形成加熱腔(33),所述加熱腔(33)的底部均布有加熱管(4),所述內層(31)底部外壁上安裝有滲漏檢測儀(5)和溫度計(6),所述酸液箱(3)底部設有供液管(7),所述酸洗槽(2)安裝在下橫架(11)上,所述酸洗槽(2)內卡有酸洗板(21),所述酸洗板(21)上均布有插孔(211),所述酸洗板(21)兩端對稱設有提桿(212),所述第一豎架(12)和第二豎架(14)上對稱設有懸臂(8)。
2.根據權利要求1所述的二極管酸洗裝置,其特征在于:所述供液管(7)一端連在內層(31)底部,依次穿過加熱腔(33)和外層(32)層壁,另一端懸在酸洗槽(2)上方,所述供液管(7)上設有限流閥(71),所述供液管(7)的材質為耐高溫材質。
3.根據權利要求1所述的二極管酸洗裝置,其特征在于:所述酸洗槽(2)槽壁兩側開有供酸洗板(21)上下移動的滑槽(22),所述酸洗槽(2)底部設有排液管(23)。
4.根據權利要求3所述的二極管酸洗裝置,其特征在于:所述滑槽(22)的深度為酸洗槽(2)高度的一半。
5.根據權利要求1所述的二極管酸洗裝置,其特征在于:所述加熱管(4)安裝在外層(32)內壁上,所述第一豎架(12)上安裝有控制柜(9)。
6.根據權利要求1所述的二極管酸洗裝置,其特征在于:所述提桿(212)的桿頂成型有掛鉤。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





