[實用新型]基于OVD的控制排氣量玻璃微粒沉積效率化裝置

有效

• 申請號: 201721790883.6
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN207775078U
• 公開（公告）日: 2018-08-28
• 發明（設計）人: 何永鵬
• 申請（專利權）人: 藤倉烽火光電材料科技有限公司
• 主分類號: C03B37/014
• 分類號: C03B37/014
• 代理公司: 武漢智權專利代理事務所(特殊普通合伙) 42225
• 代理人: 張凱

本實用新型公開了基于OVD的控制排氣量玻璃微粒沉積效率化裝置，涉及光纖預制棒制造技術領域，該裝置包括反應容器、排氣管道、流量計、排氣調整器和排氣控制器；反應容器用于收容玻璃微粒沉積體；排氣管道所述排氣管道和反應容器連通；流量計所述流量計設于所述排氣管道內；排氣調整器用于調節所述排氣管道內的氣體流量；排氣控制器所述排氣控制器分別與所述流量計和排氣調整器信號連接。本實用新型基于OVD的控制排氣量玻璃微粒沉積效率化裝置能夠實時調節反應容器的排氣量保證沉積的效率。

技術領域

本實用新型涉及光纖預制棒制造技術領域，具體涉及基于OVD的控制排氣量玻璃微粒沉積效率化裝置。

背景技術

OVD工藝又稱外部氣相化學沉積工藝(Outside Vapour Deposition)其對光纖預制棒的外徑沒有限制，能夠較好的制備生產直徑較大的預制棒，同時制造成本低等等諸多優點，使得OVD工藝成為目前沉積法制造光纖預制棒的主要工藝之一。

該工藝使用含有四氯化硅(SiCl4)，四氯化硅的原料在氧氣環境中通過噴燈與氫氣(或甲烷)/氧氣火焰一起噴向轉動的靶棒，上述物質水解反應生成的二氧化硅顆粒并隨著熱涌效應吸附沉積到靶棒。在沉積過程中，噴燈與靶棒之間進行相對運動，使得二氧化硅細微顆粒逐層沉積在靶棒上直至達到設計重量和直徑，最終得到光纖預制棒的中間產品。其中反應發生的反應容器一般設有排氣管道，用于排出反應容器中的氣體從而保持反應容器內的物質、氣壓均衡。

排氣管道排氣量對反應容器內玻璃微粒的沉積有著較大的影響，排氣量過少時，反應容器內的腐蝕氣體堆積過多容易發生泄露，而泄露的腐蝕氣體對設備以及操作人員均有害；排氣量過多時，玻璃微粒的流動過快，沉積效率低。然而，目前排氣裝置的排氣量是由人工手動進行調節的，這種調節方式只能粗調排氣量，無法細致的調節反應容器內的氣體。此外，實時調節排氣量也要求較準確的調節方式，現有的人工調節無法滿足。

實用新型內容

針對現有技術中存在的缺陷，本實用新型的目的在于提供基于 OVD的控制排氣量玻璃微粒沉積效率化裝置，能夠實時調節反應容器的排氣量保證沉積的效率。

為達到以上目的，本實用新型采取的技術方案是：

基于OVD的控制排氣量玻璃微粒沉積效率化裝置，其特征在于，其包括：

反應容器，用于收容玻璃微粒沉積體；

排氣管道，所述排氣管道和反應容器連通；

流量計，所述流量計設于所述排氣管道內；

排氣調整器，用于調節所述排氣管道內的氣體流量；

排氣控制器，所述排氣控制器分別與所述流量計和排氣調整器信號連接。

在上述技術方案的基礎上，所述排氣調整器包括擋板和驅動裝置，所述擋板被配置為可伸入所述排氣管道，所述驅動裝置用于驅動所述擋板移動。

在上述技術方案的基礎上，所述排氣調整器包括電動風閥和調節裝置，所述電動風閥固設于所述排氣管道內，所述調節裝置用于調節電動風閥葉片的偏轉。

在上述技術方案的基礎上，所述流量計包括扇輪和轉速計，所述扇輪被轉動地設于排氣管道內，所述轉速計，用于測量所述扇輪的轉速。

在上述技術方案的基礎上，所述流量計為氣體流量計

在上述技術方案的基礎上，所述扇輪扇葉的材料為耐腐蝕材料。

在上述技術方案的基礎上，所述扇輪扇葉的材料為塑料。

在上述技術方案的基礎上，所述排氣控制器為PLC設備或者專用 PC。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于：