[實用新型]一種表面形貌測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721789870.7
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN207556477U
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 佟飛;雷澤民
• 申請（專利權(quán)）人: 北京卓立漢光儀器有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 賈磊;郭曉宇

1.一種表面形貌測量裝置，其特征在于，包括光源、準(zhǔn)直單元、探測單元、接收單元、聚焦單元、信息處理單元以及位移單元：其中，

所述光源，用于產(chǎn)生寬譜帶的出射光，傳輸?shù)剿鰷?zhǔn)直單元；

所述準(zhǔn)直單元，用于將所述出射光準(zhǔn)直為平行光束，所述平行光束入射到所述探測單元；

所述探測單元與待測物體表面設(shè)置成一定的角度，且所述探測單元使入射的光產(chǎn)生色散并聚焦后照射到所述待測物體表面；

所述待測物體表面反射的光進(jìn)入到所述接收單元，所述接收單元具有較大的數(shù)值孔徑，對所述待測物體表面反射的光進(jìn)行會聚和光路偏轉(zhuǎn)；

從所述接收單元出射的光進(jìn)入到所述聚焦單元，所述聚焦單元將光聚焦到所述信息處理單元；

所述信息處理單元將入射的光信號轉(zhuǎn)換為電信號，并進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，以獲取測量結(jié)果；

所述位移單元在完成一次測量后，將整個裝置移動一段距離，測量所述待測物體表面的其它部位。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面形貌測量裝置，其特征在于，所述光源為白光光源或白光-紅外光源。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面形貌測量裝置，其特征在于，所述準(zhǔn)直單元為透鏡、透鏡組或者反射鏡組成的準(zhǔn)直系統(tǒng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面形貌測量裝置，其特征在于，所述探測單元對入射的光的色散為非軸向色散，生成的不同波長的光的焦點所形成的直線與所述待測物體表面垂直。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面形貌測量裝置，其特征在于，所述探測單元包括色散元件和透鏡；

所述色散元件用于使入射的光產(chǎn)生色散；

所述透鏡用于將色散后的光聚焦，并將聚焦后的光呈一定角度照射到所述待測物體表面。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的表面形貌測量裝置，其特征在于，所述色散元件為等邊棱鏡。

7.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的表面形貌測量裝置，其特征在于，所述接收單元包括透鏡和棱鏡；

所述透鏡具有較大的數(shù)值孔徑，對所述待測物體表面反射的光進(jìn)行會聚；

所述棱鏡對所述透鏡會聚的光進(jìn)行光路偏轉(zhuǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面形貌測量裝置，其特征在于，所述信息處理單元包含將光信號轉(zhuǎn)換為電信號的傳感器，以及負(fù)責(zé)數(shù)據(jù)處理和自動化控制的處理器。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的表面形貌測量裝置，其特征在于，所述傳感器為狹縫光譜儀。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面形貌測量裝置，其特征在于，所述位移單元為高精度的位移控制平臺，至少提供二維或二維以上的精密移動。