[實用新型]真空設備用高真空磁流體密封聯軸器

有效

• 申請號: 201721789510.7
• 申請日: 2017-12-20
• 公開（公告）號: CN208089802U
• 公開（公告）日: 2018-11-13
• 發明（設計）人: 黃昌盛;徐美婷;樓允洪
• 申請（專利權）人: 杭州維科磁電技術有限公司
• 主分類號: F16D37/02
• 分類號: F16D37/02;F16J15/43
• 代理公司: 杭州浙科專利事務所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

1.真空設備用高真空磁流體密封聯軸器，其特征在于包括帶齒輪傳動結構（1）的傳動軸（2）、殼體（3）、電機固定套（4），所述殼體（3）靠近齒輪傳動結構（1）的一側端面與真空設備的真空腔壁固定，傳動軸（2）通過其上設置的齒輪傳動結構（1）與真空設備內部的齒輪匹配連接，電機固定套（4）內設置伺服電機（5），并通過鎖緊圈（6）固定，殼體（3）的另一端通過螺栓與電機固定套（4）固定連接，所述傳動軸（2）遠離齒輪傳動結構（1）的一端設置有內控嵌入式緊配結構，并通過鍵（7）與伺服電機（5）的主動軸（8）緊配安裝，所述殼體（3）內設置有磁流體密封和傳動結構。

2.如權利要求1所述的真空設備用高真空磁流體密封聯軸器，其特征在于所述磁流體密封和傳動結構包括傳動軸（2）、軸承（9）、磁極（10）、釹鐵硼磁鋼（11）、磁液槽（12），所述磁液槽（12）設置在傳動軸（2）的外表面，軸承（9）設置在傳動軸（2）與殼體（3）內壁之間。

3.如權利要求2所述的真空設備用高真空磁流體密封聯軸器，其特征在于所述軸承（9）設置有兩個，兩個軸承（9）之間設置有兩個磁極（10），兩個磁極（10）之間設置有釹鐵硼磁鋼（11）。

4.如權利要求2所述的真空設備用高真空磁流體密封聯軸器，其特征在于所述磁液槽（12）設置有多個，每一磁液槽內儲存指定量的耐高真空的磁流體液體，形成一級密封，每一級磁流體密封至少承受0.15個大氣壓。