[實用新型]一種激光晶圓切割機定位裝置

有效

• 申請號: 201721783713.5
• 申請日: 2017-12-19
• 公開（公告）號: CN207577694U
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 張少波
• 申請（專利權）人: 深圳泰德半導體裝備有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70;B23K37/04
• 代理公司: 杭州知瑞知識產權代理有限公司 33271
• 代理人: 陳俊

本實用新型提供一種激光晶圓切割機定位裝置，包括激光晶圓切割機主體、工作箱、激光切割頭、安裝板、第一液壓伸縮缸、第一擠壓板、第二液壓伸縮缸以及第二擠壓板，工作箱設置在激光晶圓切割機主體左側，激光切割頭設置在激光晶圓切割機主體上端面左側，安裝板固定激光晶圓切割機主體上端面，第一液壓伸縮缸安裝在內部后側，第一擠壓板通過螺栓固定在第一液壓伸縮缸前端面，第一液壓伸縮缸安裝在內部前側，第二擠壓板通過螺栓固定在第二液壓伸縮缸后端面，該設計解決了原有激光晶圓切割裝置沒有電動固定結構的問題，本實用新型結構合理，定位切割準確，適用范圍廣，可靠性高。

技術領域

本實用新型是一種激光晶圓切割機定位裝置，屬于激光精密加工領域。

背景技術

晶圓激光切割設備是一種用于集成電路、LED晶圓、砷化鎵晶圓等半導體晶圓的專用激光切割設備。晶圓切割是半導體封測工藝當中的一個不可或缺的工序，近年來，隨著光電產業的迅猛發展，高集成和高性能的半導體晶圓需求也越來越大。

現有技術中，原有的晶圓激光切割設備沒有定位固定結構，半導體晶圓產生抖動影響激光切割頭切割準確性，現有的晶圓激光切割設備耗電量大，現有的晶圓激光切割設備沒有太陽能發電功能，晶圓激光切割設備上方的閑置資源浪費，現在急需一種激光晶圓切割機定位裝置來解決上述出現的問題。

實用新型內容

針對現有技術存在的不足，本實用新型目的是提供一種激光晶圓切割機定位裝置，以解決上述背景技術中提出的問題，本實用新型結構合理，定位切割準確，適用范圍廣，可靠性高。

為了實現上述目的，本實用新型是通過如下的技術方案來實現：一種激光晶圓切割機定位裝置，包括萬向輪、激光晶圓切割機主體、工作箱、固定機構、激光切割頭、照明燈、太陽能光伏板、安裝板以及顯示屏，所述萬向輪安裝在激光晶圓切割機主體下端面，所述工作箱設置在激光晶圓切割機主體左側，所述激光切割頭設置在激光晶圓切割機主體上端面左側，所述照明燈安裝在激光晶圓切割機主體前端面，所述安裝板固定激光晶圓切割機主體上端面，所述太陽能光伏板固定在安裝板上端面，所述顯示屏安裝在激光晶圓切割機主體前側，所述固定機構設置在工作箱內部上側，所述固定機構包括第一液壓伸縮缸、第一擠壓板、推出開關、蓄電池、縮回開關、第二液壓伸縮缸以及第二擠壓板，所述第一液壓伸縮缸安裝在內部后側，所述第一擠壓板通過螺栓固定在第一液壓伸縮缸前端面，所述第一液壓伸縮缸安裝在內部前側，所述第二擠壓板通過螺栓固定在第二液壓伸縮缸后端面，所述推出開關安裝在工作箱左端面后側，所述縮回開關安裝在工作箱左端面前側，所述蓄電池按安裝在工作箱內部左側。

進一步地，所述萬向輪設有四組，且四組萬向輪規格相同，所述萬向輪設有腳踩制動結構。

進一步地，所述激光晶圓切割機主體后側設有逆變器，所述太陽能光伏板通過導線與逆變器相連接，所述蓄電池通過導線與逆變器相連接。

進一步地，所述蓄電池通過導線分別于推出開關以及縮回開關相連接，所述推出開關通過導線分別于第一液壓伸縮缸和第二液壓伸縮缸相連接，所述縮回開關通過導線分別于第一液壓伸縮缸和第二液壓伸縮缸相連接。

進一步地，所述第一擠壓板外表面設有防滑螺紋，所述第二擠壓板外表面設有防滑螺紋。

進一步地，所述太陽能光伏板為柔性薄膜材料制成。

本實用新型的有益效果：本實用新型的一種激光晶圓切割機定位裝置，因本實用新型添加了第一液壓伸縮缸、第一擠壓板、推出開關、蓄電池、縮回開關、第二液壓伸縮缸以及第二擠壓板，該設計方便工作人員將半導體晶圓進行固定，防止半導體晶圓產生抖動影響激光切割頭切割準確性，解決了原有激光晶圓切割裝置沒有電動固定結構的問題，增高了本實用新型的切割準確性。