[實用新型]一種金屬遮罩的支撐平臺及檢測裝置

有效

• 申請號: 201721778981.8
• 申請日: 2017-12-19
• 公開（公告）號: CN207798691U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 吳自強;楊慎東;郭連俊
• 申請（專利權）人: 蘇州精瀨光電有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/90
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實用新型公開了一種金屬遮罩的支撐平臺及檢測裝置，支撐平臺包括兩個氣浮板和安裝光源的框體，其中，兩個所述氣浮板分別與所述框體兩條相平行的側邊連接；所述氣浮板遠離所述框體的邊緣上設有金屬遮罩安裝件；所述氣浮板面向金屬遮罩的第一表面上設有多個出氣孔，與所述第一表面表面平行的第二表面上設有至少一個進氣孔，所述進氣孔與各所述出氣孔在所述氣浮板內部相互連通。本實用新型利用氣浮板支撐金屬遮罩并對金屬遮罩吹起，將金屬遮罩吹起的高度可以抵消金屬遮罩因自身重量產生的下垂量，利用框體內的光源作為背光源，可以抵消金屬遮罩產生的反射光的影響，從而確保金屬遮罩的檢測效果，大大提高金屬遮罩的蒸鍍成功率。

技術領域

本實用新型涉及金屬蒸鍍技術領域，尤其涉及一種金屬遮罩的支撐平臺及檢測裝置。

背景技術

AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，全稱是有源矩陣有機發光二極體或主動矩陣有機發光二極體)顯示器以輕薄、主動發光、響應速度快、視角廣、色彩豐富、亮度高、功耗低以及耐高低溫等諸多優點而被業界認為是繼液晶顯示器(LiquidCrystal Display，LCD)之后的新型顯示技術，AMOLED顯示器可廣泛應用于智能手機、平板電腦、電視等終端產品。

在現有技術中，對AMOLED進行蒸鍍是在真空室內，將作為處理對象的AMOLED基板朝向下安裝其蒸鍍面，當蒸鍍用的金屬遮罩配置在AMOLED基板的蒸鍍面與蒸鍍源之間時，將蒸鍍源加熱以使蒸鍍材料蒸發，并經由金屬遮罩的開孔使其附著于AMOLED基板表面而進行蒸鍍。例如，AMOLED基板采用精細金屬遮罩(Fine Metal Mask，FMM)蒸鍍有機發光材料來制備彩色化像素圖案，該精細金屬遮罩包括開孔和橋，開孔與需蒸鍍的有機發光材料子像素區域精確對位并保持一致，橋用于防止有機發光材料蒸鍍到其它區域。當蒸鍍紅色發光材料時，使精細金屬遮罩的開孔正對紅色子像素，而綠色子像素和藍色子像素被遮罩遮擋，這樣從蒸鍍源發出的紅色發光材料就可以僅沉積在紅色子像素區；在紅色發光材料蒸鍍完成后，遮罩平移一個子像素的距離使開孔對準另一顏色的子像素，以此類推完成RGB三基色材料的蒸鍍，從而形成彩色化像素圖案。

蒸鍍為AMOLED的重要關鍵制程，其金屬遮罩的質量關系著蒸鍍成功率，所以蒸鍍前金屬遮罩的檢測非常重要。目前，蒸鍍金屬遮罩檢測是將金屬遮罩邊緣架起，用CCD對整個金屬遮罩進行檢查；但是因為金屬遮罩本身有重量會造成中間部分下沉及金屬網格邊緣有較強的反射，造成自動光學檢測效益不高，常有金屬反射的假性缺陷或因光學距焦不好影響檢測率。

有鑒于上述的缺陷，本設計人，積極加以研究創新，以期創設一種金屬遮罩的支撐平臺及檢測裝置，使其更具有產業上的利用價值。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種金屬遮罩的支撐平臺及檢測裝置，能夠補償金屬遮罩因自身重量引起的下垂量。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

一種金屬遮罩的支撐平臺，包括兩個氣浮板和安裝光源的框體，其中，

兩個所述氣浮板分別與所述框體兩條相平行的側邊連接；

所述氣浮板遠離所述框體的邊緣上設有金屬遮罩安裝件；

所述氣浮板面向金屬遮罩的第一表面上設有多個出氣孔，與所述第一表面表面平行的第二表面上設有至少一個進氣孔，所述進氣孔與各所述出氣孔在所述氣浮板內部相互連通。

進一步的，各所述出氣孔上均設有噴氣嘴。

進一步的，所述氣浮板的吹氣量可以將金屬遮罩吹起30～70um。

進一步的，所述氣浮板上靠近所述金屬遮罩安裝件的出氣孔的密度為m1，所述氣浮板上靠近所述框體的出氣孔的密度為m2，m1＜m2。

進一步的，所述氣浮板的材質為陶瓷。