[實(shí)用新型]基于濺射薄膜技術(shù)的粘接界面應(yīng)力和應(yīng)變監(jiān)測(cè)微型傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721777203.7
• 申請(qǐng)日: 2017-12-15
• 公開（公告）號(hào): CN207622684U
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王文卷;趙新;米秀秀;李賢君;樊俊有
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 陜西電器研究所
• 主分類號(hào): G01B7/16
• 分類號(hào): G01B7/16;G01L1/22
• 代理公司: 西安文盛專利代理有限公司 61100
• 代理人: 佘文英

1.一種基于濺射薄膜技術(shù)的粘接界面應(yīng)力和應(yīng)變監(jiān)測(cè)微型傳感器，其特征在于：所述傳感器包括柔性扁平電纜(1)、彈性結(jié)構(gòu)體(2)和金屬敏感芯體(3)，所述金屬敏感芯體(3)通過濺射的方式將金屬靶離子濺射到彈性結(jié)構(gòu)體(2)表面，形狀為絲柵環(huán)繞型，金屬敏感芯體(3)感知彈性結(jié)構(gòu)體(2)的應(yīng)力和應(yīng)變，以監(jiān)測(cè)彈性結(jié)構(gòu)體(2)表面的變形，對(duì)粘接界面的粘接應(yīng)力和應(yīng)變進(jìn)行監(jiān)測(cè)，其中扁平電纜(1)、彈性結(jié)構(gòu)體(2)和金屬敏感芯體(3)均為雙層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于濺射薄膜技術(shù)的粘接界面應(yīng)力和應(yīng)變監(jiān)測(cè)微型傳感器，其特征在于：所述金屬敏感芯體(3)由四組金屬敏感柵(3b)電阻組成，并留有四個(gè)焊點(diǎn)(3a)，與柔性扁平電纜(1)的四個(gè)焊點(diǎn)連接，組成惠斯通電橋電路。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于濺射薄膜技術(shù)的粘接界面應(yīng)力和應(yīng)變監(jiān)測(cè)微型傳感器，其特征在于：所述金屬敏感芯體(3)每層有一套惠斯通電橋電路，構(gòu)成雙路敏感芯體，上層敏感芯體測(cè)量待測(cè)粘接界面上表面結(jié)構(gòu)的變形，下層敏感芯體測(cè)量待測(cè)粘接界面下表面的結(jié)構(gòu)變形。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于濺射薄膜技術(shù)的粘接界面應(yīng)力和應(yīng)變監(jiān)測(cè)微型傳感器，其特征在于：所述金屬敏感芯體(3)一端的焊點(diǎn)(3a)與扁平電纜(1)連接，將金屬靶離子濺射到扁平電纜(1)連接處，實(shí)現(xiàn)電信號(hào)傳播，將金屬敏感芯體(3)感知的應(yīng)力和應(yīng)變信息傳遞到外部接收系統(tǒng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于濺射薄膜技術(shù)的粘接界面應(yīng)力和應(yīng)變監(jiān)測(cè)微型傳感器，其特征在于：所述的金屬敏感柵(3b)表面鍍有一層Si₃N₄保護(hù)膜，其保護(hù)膜厚度比金屬敏感柵(3b)厚度小。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于濺射薄膜技術(shù)的粘接界面應(yīng)力和應(yīng)變監(jiān)測(cè)微型傳感器，其特征在于：所述金屬敏感芯體(3)、彈性結(jié)構(gòu)體(2)與扁平電纜(1)利用靜電封裝技術(shù)實(shí)現(xiàn)封裝、密封。