[實用新型]一種自動化芯片條測試機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721752796.1 | 申請日： | 2017-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN207528878U | 公開（公告）日： | 2018-06-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 黃日新;王萌 | 申請（專利權(quán)）人： | 鐳神技術(shù)（深圳）有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 44384 | 代理人： | 譚雪婷;高早紅 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)新安*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 安裝螺栓 測試裝置 運動耦合 測試機 芯片條 本實用新型 光譜分析儀 控制計算機 光學平臺 控制系統(tǒng) 自動化 電氣柜 隔振 料臺 軸載 精密 自動化生產(chǎn)設(shè)備 多功能電源 框架上表面 溫度一致性 定位精準 內(nèi)部設(shè)置 生產(chǎn)效率 上表面 電表 | ||
1.一種自動化芯片條測試機，其特征在于，包括一框架，所述框架上表面通過安裝螺栓固定連接一運動耦合測試裝置，所述運動耦合測試裝置一側(cè)通過安裝螺栓固定連接多功能電源電表，所述框架內(nèi)部設(shè)置有控制系統(tǒng)、控制計算機、光譜分析儀和電氣柜，控制系統(tǒng)、控制計算機、光譜分析儀和電氣柜均通過安裝螺栓與框架固定連接；
所述運動耦合測試裝置包括一精密隔振光學平臺和XYZ軸載料臺，所述精密隔振光學平臺上表面通過安裝螺栓固定連接XYZ軸載料臺。
2.如權(quán)利要求1所述的自動化芯片條測試機，其特征在于，所述運動耦合測試裝置進一步包括可調(diào)節(jié)探針臺、影像系統(tǒng)和耦合測試臺，XYZ軸載料臺一側(cè)設(shè)置耦合測試臺，耦合測試臺一側(cè)設(shè)置可調(diào)節(jié)探針臺，所述可調(diào)節(jié)探針臺一側(cè)設(shè)置影像系統(tǒng)，所述可調(diào)節(jié)探針臺、影像系統(tǒng)和耦合測試臺均通過安裝螺栓與精密隔振光學平臺固定連接。
3.如權(quán)利要求1所述的自動化芯片條測試機，其特征在于，所述XYZ軸載料臺包括XYZ軸運動機構(gòu)、水循環(huán)散熱塊、半導體制冷器、熱敏電阻和溫控載料基板，所述XYZ軸運動機構(gòu)頂部通過安裝螺栓固定連接所述水循環(huán)散熱塊，水循環(huán)散熱塊頂部一端通過安裝螺栓固定連接半導體制冷器，半導體制冷器上方通過安裝螺栓固定連接溫控載料基板，溫控載料基板內(nèi)部設(shè)置熱敏電阻。
4.如權(quán)利要求3所述的自動化芯片條測試機，其特征在于，所述溫控載料基板上表面開設(shè)固定槽，用于放置待測芯片條。
5.如權(quán)利要求4所述的自動化芯片條測試機，其特征在于，所述固定槽內(nèi)均勻開設(shè)多個微型真空孔，用于真空吸附固定待測芯片條。
6.如權(quán)利要求2所述的自動化芯片條測試機，其特征在于，所述耦合測試臺位置與XYZ軸載料臺位置相對應。
7.如權(quán)利要求2所述的自動化芯片條測試機，其特征在于，所述可調(diào)節(jié)探針臺的位置與XYZ軸載料臺的位置相對應。
8.如權(quán)利要求5所述的自動化芯片條測試機，其特征在于，所述多個微型真空孔呈一字型線性排列。
9.如權(quán)利要求3所述的自動化芯片條測試機，其特征在于，所述XYZ軸運動機構(gòu)為精密步進馬達。
10.如權(quán)利要求1所述的自動化芯片條測試機，其特征在于，所述框架的底部四角分別設(shè)置有支撐腿，所述支撐腿的內(nèi)側(cè)設(shè)置有活動輪。
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