[實用新型]一種用于平板式PECVD的進氣管道保護結(jié)構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721751515.0
• 申請日: 2017-12-15
• 公開（公告）號: CN207646284U
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發(fā)明（設計）人: 傅林堅;石剛;洪昀;吳威;高振波;王偉星;祝廣輝
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/513
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

1.一種用于平板式PECVD的進氣管道保護結(jié)構，其特征在于，包括進氣座、防塵罩撥板、防塵罩、螺桿、掛鉤和重錘；

所述進氣座包括上進氣組件和下進氣組件，進氣座內(nèi)至少安裝三個進氣活塞，每個進氣活塞包括上進氣組件中的上進氣活塞和下進氣組件中的下進氣活塞；

所述上進氣組件包括上進氣座、上進氣活塞、上壓縮彈簧；上進氣座通過螺栓固定安裝于平板式PECVD的腔體蓋板上，使上進氣組件固定在腔體蓋板內(nèi)壁前端；上進氣活塞通過上壓縮彈簧固定在上進氣座上：上壓縮彈簧的一端通過彈性形變將上進氣活塞壓在上進氣座內(nèi)，另一端壓在腔體蓋板上；上進氣活塞內(nèi)設有氣孔，用于平板式PECVD設備工藝氣體的輸送；上進氣座固定在腔體蓋板上，當腔體蓋板閉合時，上進氣活塞氣孔的下端與下進氣活塞內(nèi)氣孔對接；

所述下進氣組件包括下進氣座、下進氣活塞、下壓縮彈簧、下進氣座蓋板；下進氣座通過螺栓固定安裝于平板式PECVD的腔體內(nèi)壁上；下進氣活塞通過下壓縮彈簧和下進氣座蓋板，安裝在下進氣座內(nèi)：下進氣活塞的下端安裝有下壓縮彈簧，下進氣活塞的上端安裝有下進氣座蓋板，下進氣座蓋板固定在下進氣座上，通過下壓縮彈簧的彈性形變，實現(xiàn)下進氣活塞的上下運動；下進氣活塞上設有凸臺，下進氣座蓋板上設有孔，通過該凸臺與孔的配合，實現(xiàn)下進氣活塞的限位；下進氣活塞內(nèi)開有貫穿的氣孔，氣孔上端的外圓周上安裝有O型密封圈，用于實現(xiàn)上進氣活塞與下進氣活塞之間的密封連接，氣孔下端用于和進氣管道連接，從而實現(xiàn)下進氣組件的進氣功能；

所述防塵罩通過銷軸安裝于下進氣座上，用于防塵和保護下進氣組件；防塵罩下方通過掛鉤掛有重錘；螺桿插于防塵罩上，并利用螺母固定；

所述防塵罩撥板固定在上進氣座的兩側(cè)，上進氣組件固定在平板式PECVD的腔體蓋板上，下進氣組件固定在平板式PECVD的腔體內(nèi)壁上，能夠?qū)崿F(xiàn)：在平板式PECVD的腔體蓋板關閉的過程中，上進氣組件隨著腔體蓋板靠近下進氣組件，防塵罩撥板向下運動，當碰觸到防塵罩上的螺桿時，帶動防塵罩繞其銷軸向下轉(zhuǎn)動，防塵罩逐漸打開，平板式PECVD的腔體蓋板關閉時，防塵罩完全打開，實現(xiàn)下進氣活塞和上進氣活塞的密封對接；當平板式PECVD的腔體蓋板打開的過程中，上進氣組件隨著腔體蓋板遠離下進氣組件，防塵罩撥板向上運動，防塵罩在重錘作用下，繞其銷軸向上轉(zhuǎn)動，防塵罩逐漸關閉，平板式PECVD的腔體蓋板打開時，防塵罩關閉，實現(xiàn)對下進氣活塞的保護。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于平板式PECVD的進氣管道保護結(jié)構，其特征在于，所述進氣座內(nèi)安裝有三個進氣活塞，即對應設有三個上進氣活塞和三個下進氣活塞。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種用于平板式PECVD的進氣管道保護結(jié)構，其特征在于，所述上進氣活塞上焊接的氣管，通過密封墊片擰緊或卡套的方式，與腔體蓋板上的進氣管道進行密封性連接。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種用于平板式PECVD的進氣管道保護結(jié)構，其特征在于，所述下進氣活塞的氣孔下端，通過O型密封圈或卡套的方式，與進氣管道進行密封性連接。