[實用新型]一種多晶硅生產酸性尾氣淋洗系統

有效

• 申請號: 201721748415.2
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN207786320U
• 公開（公告）日: 2018-08-31
• 發明（設計）人: 李延輝;曹鵬;王超
• 申請（專利權）人: 河北東明中硅科技有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/68
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產權代理有限公司 11467
• 代理人: 賈凱

1.一種多晶硅生產酸性尾氣淋洗系統，其特征在于：包括淋洗塔(1)和為所述淋洗塔(1)提供堿性淋洗液的淋洗液池(2)；

所述淋洗塔(1)下部設有尾氣進氣管(11)，所述淋洗塔(1)頂部設有出氣管(12)，所述出氣管(12)上設有風機(3)，所述淋洗塔(1)內部由上至下依次設有除霧層(13)、第一噴淋區(14)、第一填料層(15)、第二噴淋區(16)和第二填料層(17)，所述第一噴淋區(14)內設有第一噴淋頭(141)，所述第二噴淋區(16)內設有第二噴淋頭(161)，所述第一噴淋頭(141)及第二噴淋頭(161)均通過噴淋液進管(5)與所述淋洗液池(2)相連通，所述噴淋液進管(5)上設有循環泵(51)；所述淋洗塔(1)的底部通過出液管(18)與所述淋洗液池(2)相連通，所述出液管(18)上設有檢測樣品罐(4)，所述檢測樣品罐(4)上設有PH檢測探頭(41)；

所述淋洗液池(2)包括第一淋洗液池(21)和第二淋洗液池(22)，所述第一淋洗液池(21)上設有第一補液管(211)和第一排液管(212)，所述第一淋洗液池(21)上設有與所述出液管(18)相連通的第一回液管(213)，所述第一淋洗液池(21)上設有與所述噴淋液進管(5)相連通的第一供液管(214)，所述第一補液管(211)上設有第一補液管閥(2111)，所述第一排液管(212)上設有第一排液管閥(2121)，所述第一回液管(213)上設有第一回液管閥(2131)，所述第一供液管(214)上設有第一供液管閥(2141)；所述第二淋洗液池(22)上設有第二補液管(221)和第二排液管(222)，所述第二淋洗液池(22)上設有與所述出液管(18)相連通的第二回液管(223)，所述第二淋洗液池(22)上設有與所述噴淋液進管(5)相連通的第二供液管(224)，所述第二補液管(221)上設有第二補液管閥(2211)，所述第二排液管(222)上設有第二排液管閥(2221)，所述第二回液管(223)上設有第二回液管閥(2231)，所述第二供液管(224)上設有第二供液管閥(2241)。

2.根據權利要求1所述的一種多晶硅生產酸性尾氣淋洗系統，其特征在于：所述尾氣進氣管(11)伸入所述淋洗塔(1)中部后向上折彎設有內部中空的進氣盤(6)，所述進氣盤(6)底部設有與所述尾氣進氣管(11)相連通的進氣口(61)，所述進氣盤(6)內均勻設有若干連通所述進氣盤(6)的上表面與下表面的連接短管(62)，所述連接短管(62)的側壁上開設有出氣孔(621)。

3.根據權利要求2所述的一種多晶硅生產酸性尾氣淋洗系統，其特征在于：所述出氣孔(621)傾斜設置，所述出氣孔(621)靠近所述連接短管(62)外側處高于所述出氣孔(621)靠近所述連接短管(62)內側處。

4.根據權利要求1所述的一種多晶硅生產酸性尾氣淋洗系統，其特征在于：所述淋洗塔(1)底部成圓錐形。

5.根據權利要求1所述的一種多晶硅生產酸性尾氣淋洗系統，其特征在于：所述第一填料層(15)和第二填料層(17)采用PVC波紋材料或PP多球面。