[實用新型]一種制備多晶硅的還原系統

有效

• 申請號: 201721747589.7
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN207671692U
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 馮謹;楊刊;郝福濤
• 申請（專利權）人: 河北東明中硅科技有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產權代理有限公司 11467
• 代理人: 賈凱

1.一種制備多晶硅的還原系統，其特征在于：包括底座(1)，由左至右依次設置于所述底座(1)上并依次相連通的原料供應系統(2)，原料混配裝置(3)和還原爐(4)；

所述原料供應系統(2)包括氫氣儲罐(21)和三氯氫硅儲罐(22)，所述氫氣儲罐(21)通過第一氫氣輸送管(211)與所述原料混配裝置(3)相連通，所述三氯氫硅儲罐(22)通過第一三氯氫硅輸送管(221)與所述原料混配裝置(3)相連通；

所述原料混配裝置(3)包括換熱箱(31)，設置于所述換熱箱(31)內的氣壓平衡箱(32)，設置于所述換熱箱(31)外部并與所述氣壓平衡箱(32)相連通的氣體混合器(33)和設置于所述換熱箱(31)上的氣體配比裝置(34)；所述第一氫氣輸送管(211)穿過所述換熱箱(31)后與所述氣壓平衡箱(32)相連通，所述第一三氯氫硅輸送管(221)穿過所述換熱箱(31)后與所述氣壓平衡箱(32)相連通；所述氣體混合器(33)通過混合氣出管與所述還原爐(4)的進氣口相連通；

所述換熱箱(31)包括換熱箱體(311)和換熱箱蓋(312)；所述換熱箱體(311)上設有熱媒進管(3111)和熱媒出管(3112)；

所述氣壓平衡箱(32)包括平衡箱體(321)，平衡箱蓋(322)，滑動設置于所述平衡箱體(321)內部的隔板(323)和若干個將所述平衡箱體(321)固定于所述換熱箱體(311)上的連接柱(324)；所述隔板(323)將所述平衡箱體(321)分割為氫氣儲腔(3211)和三氯氫硅儲腔(3212)，所述氫氣儲腔(3211)與第一氫氣輸送管(211)相連通，所述三氯氫硅儲腔(3212)與所述第一三氯氫硅輸送管(221)相連通，所述氫氣儲腔(3211)上設有穿過所述換熱箱體(311)與所述氣體混合器(33)相連通的第二氫氣輸送管(3213)，所述三氯氫硅儲腔(3212)上設有穿過所述換熱箱體(311)與所述氣體混合器(33)相連通的第二三氯氫硅輸送管(3214)，所述第二氫氣輸送管(3213)的橫截面與所述第二三氯氫硅輸送管(3214)的橫截面的尺寸相同；

所述氣體混合器(33)包括混合器殼體(331)和設置于所述混合器殼體(331)內的混合葉片(332)，所述第二氫氣輸送管(3213)及第二三氯氫硅輸送管(3214)均與所述混合器殼體(331)內部相連通；

所述氣體配比裝置(34)包括滑動設置于所述換熱箱體(311)外的調節桿(341)和轉動設置于所述換熱箱體(311)外并控制所述調節桿(341)滑動的控制齒輪(342)；所述調節桿(341)的一端設有伸入所述第二氫氣輸送管(3213)內的氫氣流量控制板(3411)，所述調節桿(341)的另一端設有伸入所述第二三氯氫硅輸送管(3214)內部的三氯氫硅流量控制板(3412)，所述氫氣流量控制板(3411)與所述三氯氫硅流量控制板(3412)相互遠離的端面之間的距離等于所述第二氫氣輸送管(3213)與所述第二三氯氫硅輸送管(3214)中心軸線之間的距離，所述調節桿(341)上設有與所述控制齒輪(342)相嚙合的直齒條(3413)；所述控制齒輪(342)上一體設置有旋轉手輪(3421)，控制齒輪(342)上設置有氣體配比指示箭頭(3422)，所述換熱箱體(311)上設置有顯示氣體配比的標度(3113)；

所述還原爐(4)的爐壁由內爐壁(41)和外爐壁(42)套設而成，所述內爐壁(41)和外爐壁(42)之間設有夾套層(43)，所述外爐壁(42)上設有與所述夾套層(43)相連通的冷媒進管(421)和冷媒出管(422)，所述冷媒進管(421)和冷媒出管(422)上均設有溫度計(423)。

2.根據權利要求1所述的一種制備多晶硅的還原系統，其特征在于：所述控制齒輪(342)上設置有定位頂絲(3423)。

3.根據權利要求1所述的一種制備多晶硅的還原系統，其特征在于：所述隔板(323)與所述平衡箱體(321)的內壁接觸處設有橡膠密封條。