[實用新型]一種大公斤藍寶石長晶設備的真空系統(tǒng)結構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721744515.8
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN207646335U
• 公開（公告）日: 2018-07-24
• 發(fā)明（設計）人: 張新峰;周磊峰;徐建;龍安澤;蔣信
• 申請（專利權）人: 江蘇卓遠晶體科技有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B35/00
• 代理公司: 北京快易權知識產權代理有限公司 11660
• 代理人: 杜亞靜

1.一種大公斤藍寶石長晶設備的真空系統(tǒng)結構，包括真空管，其特征在于：所述真空管的頂部中心處設置有防爆閥，所述真空管的頂部右側和底部左側均設置有六角水管接頭，所述真空管的右側設置有密封圈，所述真空管的底部中心處設置有高真空微調閥，所述真空管的底部左右兩側對稱設置有第一真空計，且左側第一真空計位于底部六角水管接頭的右側；

所述真空管的左側連通有氣動高真空擋板閥，所述氣動高真空擋板閥的底部設置有冷阱，所述冷阱的底部設置有擴散閥，所述擴散閥的左側連通有旁管接頭，所述旁管接頭的頂部連接有第一氣動真空擋板閥，所述第一氣動真空擋板閥的左側連通有三通管，所述三通管的頂部設置有第二真空計，所述三通管的左側連接有四通管，所述四通管的頂部連通有第二氣動真空擋板閥。

2.根據(jù)權利要求1所述的大公斤藍寶石長晶設備的真空系統(tǒng)結構，其特征在于：所述真空管和冷阱均為雙層式結構。

3.根據(jù)權利要求1所述的大公斤藍寶石長晶設備的真空系統(tǒng)結構，其特征在于：所述冷阱的內腔設置有內套，所述內套的與冷阱之間設置有冷卻腔，所述冷阱的左側壁設置有進水管，所述冷阱的右側壁設置有排水管，且進水管和排水管均與冷卻腔相連通。

4.根據(jù)權利要求3所述的大公斤藍寶石長晶設備的真空系統(tǒng)結構，其特征在于：所述進水管和排水管上均設置有電磁調節(jié)閥。

5.根據(jù)權利要求1所述的大公斤藍寶石長晶設備的真空系統(tǒng)結構，其特征在于：所述第一真空計和高真空微調閥均通過卡箍與真空管相連接。