[實用新型]一種酸堿化學品取樣機臺

有效

• 申請號: 201721742593.4
• 申請日: 2017-12-14
• 公開（公告）號: CN207623057U
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發明（設計）人: 謝信弘
• 申請（專利權）人: 昆山羚羊機電安裝有限公司
• 主分類號: G01N1/10
• 分類號: G01N1/10
• 代理公司: 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638
• 代理人: 王新愛

本實用新型公開了一種酸堿化學品取樣機臺，包括取樣箱、管道入口接頭、取樣管道、閥門、管道出口接頭、排氣管、氣閘、排水管道；取樣箱正面設有取樣區；管道入口接頭固定在取樣箱背面，管道出口接頭固定在取樣區內，取樣管道兩端分別與管道入口接頭和管道出口接頭連接，閥門連接在取樣管道上；取樣區底部固定有網孔板，網孔板下方固定有收集漏斗；氣閘固定在取樣箱頂部，排氣管一端連接在收集漏斗側面，另一端與氣閘連接；排水管道連接在收集漏斗底部。通過上述方式，本實用新型采用密封設計，且有泄露檢測保護，操作安全。設置高效過濾裝置，確保取樣箱內無酸氣積聚，從而避免管道或壁面被腐蝕污染及人員受到傷害。

技術領域

本實用新型涉及化學品取樣機構領域，特別是涉及一種酸堿化學品取樣機臺。

背景技術

隨著我國半導體行業的繼續發展，芯片生產線在我國也已開始越來越規模化，其目的是實現對芯片上的雜質、微粒子進行清洗等。而作為半導體制程后端化學品廢液回收系統，回收酸堿廢液中多種貴金屬，涉及到多種危險化學品輸送和應用，此類化學品都具有高危害性，高腐蝕性。在輸送過程中為了保證系統正常運行，需要對化學品進行取樣分析，取樣時由于人員直接與酸堿化學品接觸，容易造成泄漏污染，特別是人員極易受到傷害。

實用新型內容

本實用新型主要解決的技術問題是提供一種酸堿化學品取樣機臺，采用密封設計，且有泄露檢測保護，操作安全。設置高效過濾裝置，確保取樣箱內無酸氣積聚，從而避免管道或壁面被腐蝕污染及人員受到傷害。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的一個技術方案是：提供一種酸堿化學品取樣機臺，包括：取樣箱、管道入口接頭、取樣管道、閥門、管道出口接頭、排氣管、氣閘、N₂吹掃噴頭、純水沖洗噴頭、排水管道、高效過濾器和泄漏偵測器；所述取樣箱正面設有取樣區，取樣箱上對應取樣區的位置設有移門，取樣箱上位于取樣區下方的位置設有閥門區，取樣箱上對應閥門區的位置設有推拉門；所述管道入口接頭固定在取樣箱背面，管道出口接頭固定在取樣區內中部的位置，取樣管道兩端分別與管道入口接頭和管道出口接頭連接，取樣管道中間段穿過所述閥門區，所述閥門連接在閥門區內的取樣管道上；所述取樣箱內位于取樣區底部的位置固定有網孔板，位于網孔板下方的取樣箱內固定有收集漏斗；所述氣閘固定在取樣箱頂部，所述排氣管一端連接在收集漏斗側面，排氣管另一端與氣閘連接；所述排水管道一端連接在收集漏斗底部，排水管道另一端通向取樣箱底部；所述高效過濾器固定在取樣箱頂部對應取樣區的位置；所述N₂吹掃噴頭、純水沖洗噴頭固定在取樣區內上端的位置；所述泄漏偵測器固定在取樣箱內靠近取樣箱底部的位置。

進一步，所述取樣箱側面開有維修窗口，維修窗口上設有維修門。

進一步，所述取樣箱上對應取樣區的位置設有取樣窗口，取樣窗口外固定有一對滑槽，所述移門可滑動的設在滑槽內。

進一步，所述取樣箱包括骨架和安裝在骨架上的板材，骨架由不銹鋼方鋼焊接而成，板材采用WPP板焊接而成。

進一步，所述移門和推拉門均為PVC材質。

進一步，所述取樣箱底部固定有萬向輪。

本實用新型的有益效果是：本實用新型采用密封設計，且有泄露檢測保護，操作安全。設置高效過濾裝置，確保取樣箱內無酸氣積聚，從而避免管道或壁面被腐蝕污染及人員受到傷害。

附圖說明

圖1是本實用新型一種酸堿化學品取樣機臺一較佳實施例的立體結構示意圖；

圖2是所示一種酸堿化學品取樣機臺去除推拉門時的主視結構示意圖；

圖3是所示一種酸堿化學品取樣機臺的A-A剖視結構示意圖。