[實用新型]一種用于單晶爐石墨加熱器安裝的吊裝裝置

有效

• 申請號: 201721741419.8
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN207632325U
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: 劉書躍;馮德伸;王霈文
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院;有研光電新材料有限責任公司
• 主分類號: B66C1/16
• 分類號: B66C1/16;B66C13/06;B66C13/08;C30B15/00;C30B29/08
• 代理公司: 北京辰權知識產權代理有限公司 11619
• 代理人: 佟林松

本實用新型公開了一種用于單晶爐石墨加熱器安裝的吊裝裝置，所述吊裝裝置包括支撐件和吊裝件，所述支撐件包括吊板、上保護蓋、吊環和連接螺栓，所述吊裝件包括吊索和鎖扣，其中，所述吊板上周邊設有供連接螺栓穿過的固定孔，所述吊板上中部設有安裝吊環的吊環安裝孔，所述上保護蓋周邊設有容置所述加熱器上部邊緣的凹槽，所述上保護蓋中部設有供吊索穿過的通孔；所述吊索穿過相應吊環后采用鎖扣鎖合，所述吊索上部穿過所述上保護蓋中部的通孔后束集一起并通過鎖扣鎖合后形成環裝掛鉤。采用該吊裝裝置更換加熱器時，可以從上部將加熱器吊裝進入爐室，節約了安裝時間，減小了加熱器受損風險。

技術領域

本實用新型涉及半導體制造技術領域，特別涉及一種直拉單晶爐設備輔助工裝設備。

背景技術

低位錯鍺單晶是制備高效多結GaAs/Ge太陽電池的重要襯底材料，低位錯鍺單晶主要采用直拉法制備。直拉法生長低位錯鍺單晶技術中，熱場溫度梯度是影響單晶質量的核心因素。加熱器是熱場結構中的唯一熱量來源，其結構直接決定了熱場中的溫度梯度分布。

直拉法單晶爐使用的加熱器一般為筒狀梳型結構石墨加熱器，如圖1所示，加熱器底盤2分別與單晶爐電極板正負極連接，梳型石墨片1通電后發熱成為熱場的熱源。用于高效多結GaAs/Ge太陽電池的鍺單晶位錯密度通常小于300mm^-2，為獲得低位錯密度的單晶，需要很小溫度梯度的熱場，這樣就要求加熱器的高度明顯加長，由于石墨片強度較低，梳型石墨片容易在移動安裝過程中因晃動而損壞，因此加熱器的安裝和更換一直是單晶拉制過程中的高風險環節。

另外，一般單晶爐加熱器安裝時都是將主爐室升高后移出，將加熱器安裝好后再移回，由于主爐室上升高度有限，當加熱器高度增加到一定高度后，就無法采用通過升高主爐室的方法，只能采用不移主爐室直接將加熱器從上方調裝到主爐室內的方式。如前述，由于石墨片強度比較弱，無法采用直接提取夾持梳型石墨片加熱器的方式進行安裝。

因此，亟需開發一種專門的吊裝工具用于安裝高度較高的梳型石墨加熱器。

實用新型內容

針對現有技術中的上述問題，本實用新型的目的是提供一種用于單晶爐石墨加熱器安裝的吊裝裝置，該裝置可以解決高度較高加熱器無法安裝在單晶爐內的問題，且有效降低安裝損壞的風險。

為實現上述目的，本實用新型通過以下技術方案實現。

一種用于單晶爐石墨加熱器安裝的吊裝裝置，所述吊裝裝置包括支撐件和吊裝件，所述支撐件包括吊板、上保護蓋、吊環和連接螺栓，所述吊裝件包括吊索和鎖扣，其中，所述吊板上周邊設有供連接螺栓穿過的固定孔，所述吊板上中部設有安裝吊環的吊環安裝孔，所述上保護蓋周邊設有容置所述加熱器上部邊緣的凹槽，所述上保護蓋中部設有供吊索穿過的通孔；所述吊索穿過相應吊環后采用鎖扣鎖合，所述吊索上部穿過所述上保護蓋中部的通孔后束集一起并通過鎖扣鎖合后形成環裝掛鉤。

進一步，所述吊板的形狀為圓形或長方形，圓形的直徑或長方形的對角線長度為加熱器內徑的0.4-0.6倍。

進一步，所述吊板的形狀為圓形或長方形，圓形的直徑或長方形的對角線長度為加熱器內徑的0.5倍。

進一步，所述固定孔的數量為4個，分別與所述加熱器底部的開孔位置對應，采用4個連接螺栓穿過對應的固定孔與加熱器底盤的開孔連接固定。

進一步，所述吊環安裝孔和吊環的的數量均為4個，所述4個吊環安裝孔在長方形吊板的兩條對角線上關于對角線交點對稱分布或者在圓形吊板呈90°的兩條直徑上關于圓心對稱分布，且吊環安裝孔具有內螺紋，所述吊環通過下端設置的外螺紋與吊環安裝孔固定連接。

進一步，所述吊索為4根等長的軟繩。

進一步，所述上保護蓋中部的通孔的孔徑與四根軟繩在緊繃狀態下通過所需的孔徑相同。

本實用新型的優點在于：