[實用新型]電極單端懸浮的電容壓力傳感器

有效

• 申請號: 201721729667.0
• 申請日: 2017-12-13
• 公開（公告）號: CN207515948U
• 公開（公告）日: 2018-06-19
• 發明（設計）人: 孫英春;段磊;董先柱;孫曉茜
• 申請（專利權）人: 沈陽市傳感技術研究所
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12
• 代理公司: 沈陽科威專利代理有限責任公司 21101
• 代理人: 刁佩德

1.一種電極單端懸浮的電容壓力傳感器，包括外殼，支座，組裝在二者之間的定電極絕緣體和動電極以及管式電極，其特征在于：所述動電極采用恒彈性金屬制作的雙面鍍貴金屬層的薄膜動電極；定電極絕緣體采用藍寶石單晶制作的藍寶石絕緣體，并利用釬焊層將封接有管式電極的藍寶石絕緣體的一端與作為外殼的底部設置有連體屏蔽環的定電極懸浮外殼固定在一起，藍寶石絕緣體的設置有拋物凹面的一端不受任何約束呈自由狀態，構成帶有刃口薄壁端的定電極單端懸浮結構體；作為支座的帶引壓口的下夾持懸浮座上表面設置有與藍寶石絕緣體底部相對稱結構的拋物凹面和依托動電極的環形平面，上夾持焊環底部設置有與藍寶石絕緣體拋物凹面的結構相吻合的拋物凹面和與引壓口的下夾持懸浮座上表面相對稱結構的依托動電極的環形平面，上夾持焊環頂部及外周壁不受任何約束呈自由狀態，雙面鍍貴金屬層的薄膜動電極壓接封裝在帶引壓口的下夾持懸浮座的環形平面與上夾持焊環的環形平面之間，通過動電極刃口焊口焊接在一起，構成帶有刃口薄壁端的動電極單端懸浮結構體；定電極單端懸浮結構體的帶有刃口薄壁端與動電極單端懸浮結構體的帶有刃口薄壁端，利用懸浮結構體刃口焊口焊接在一起，同時使上夾持焊環頂部及外周壁與定電極懸浮外殼相對應的內壁之間保持間隙，上夾持焊環內周壁與藍寶石絕緣體相對應的外周壁之間保持間隙。

2.根據權利要求1所述的電極單端懸浮的電容壓力傳感器，其特征在于：將所述定電極單端懸浮結構體與動電極單端懸浮結構體焊接在一起的懸浮結構體刃口焊口與動電極刃口焊口處于同一平面上，并通過設置在定電極懸浮外殼底部的連體屏蔽環，使懸浮結構體刃口焊口與動電極刃口焊口相互隔離屏蔽。

3.根據權利要求1所述的電極單端懸浮的電容壓力傳感器，其特征在于：所述藍寶石絕緣體的拋物凹面上，鍍有和管式電極相連的導電膜層，導電膜層上覆蓋絕緣膜層。