[實(shí)用新型]一種測(cè)量多晶硅鑄造用石英坩堝內(nèi)部寬度的測(cè)量裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721729144.6
• 申請(qǐng)日: 2017-12-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207556409U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-06-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊杰;黃金強(qiáng);馮強(qiáng);郭寬新;馮立學(xué)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州晶櫻光電科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01B5/02
• 分類號(hào): G01B5/02
• 代理公司: 南京蘇創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32273
• 代理人: 曹成俊

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種測(cè)量多晶硅鑄造用石英坩堝內(nèi)部寬度的測(cè)量裝置，包括長(zhǎng)度已知的管狀測(cè)量本體，測(cè)量本體中活動(dòng)穿設(shè)有測(cè)量尺，管狀測(cè)量本體上設(shè)有握持桿，測(cè)量尺的0刻度端伸出測(cè)量本體且其上設(shè)有施力桿，測(cè)量本體上沿長(zhǎng)度方向設(shè)有導(dǎo)向槽，測(cè)量尺上設(shè)有穿過(guò)導(dǎo)向槽的導(dǎo)向柱，導(dǎo)向柱穿出導(dǎo)向槽的部分上設(shè)有測(cè)量尺鎖定裝置。本測(cè)量裝置能夠有效測(cè)量坩堝底部尺寸，保證坩堝尺寸一致性，從而避免了由于坩堝內(nèi)截面呈梯形導(dǎo)致的原料浪費(fèi)和產(chǎn)品不良。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種測(cè)量多晶硅鑄造用石英坩堝內(nèi)部寬度的測(cè)量裝置。

背景技術(shù)

多晶硅主要采用定向凝固的方式制造，即將硅料裝在石英坩堝內(nèi)，在真空爐內(nèi)用電阻加熱的方式將硅料融化，冷卻后得到多晶硅錠。當(dāng)前的多晶硅鑄錠使用的石英坩堝為箱型中空長(zhǎng)方體，尺寸標(biāo)準(zhǔn)如下：

坩堝使用之前需要測(cè)量?jī)?nèi)部尺寸，避免使用內(nèi)截面呈梯形的坩堝，以減少原料浪費(fèi)和產(chǎn)品不良。但是坩堝內(nèi)部由于坩堝要求潔凈度非常高且石英砂質(zhì)地較脆，人員無(wú)法進(jìn)入內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量，而且坩堝內(nèi)部涂層比較脆弱，所用的量具硬度不能很高，現(xiàn)有工具無(wú)法對(duì)坩堝內(nèi)部底部寬度進(jìn)行檢驗(yàn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是：提供一種坩堝底部?jī)?nèi)徑測(cè)量的工具，能夠有效測(cè)量坩堝底部尺寸，保證坩堝尺寸一致性，從而避免了由于坩堝內(nèi)截面呈梯形導(dǎo)致的原料浪費(fèi)和產(chǎn)品不良。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為：一種測(cè)量多晶硅鑄造用石英坩堝內(nèi)部寬度的測(cè)量裝置，包括長(zhǎng)度已知的管狀測(cè)量本體，測(cè)量本體中活動(dòng)穿設(shè)有測(cè)量尺，管狀測(cè)量本體上設(shè)有握持桿，測(cè)量尺的0刻度端伸出測(cè)量本體且其上設(shè)有施力桿，測(cè)量本體上沿長(zhǎng)度方向設(shè)有導(dǎo)向槽，測(cè)量尺上設(shè)有穿過(guò)導(dǎo)向槽的導(dǎo)向柱，導(dǎo)向柱穿出導(dǎo)向槽的部分上設(shè)有測(cè)量尺鎖定裝置。

作為一種優(yōu)選的方案，導(dǎo)向柱穿出導(dǎo)向槽的部分上設(shè)有螺紋，所述鎖定裝置為設(shè)置在導(dǎo)向柱上的鎖定桿，鎖定桿底部設(shè)有螺紋孔，導(dǎo)向柱上部穿設(shè)在螺紋孔內(nèi)。

作為一種優(yōu)選的方案，測(cè)量本體長(zhǎng)度為500—1000mm，測(cè)量尺的長(zhǎng)度為300—500mm。

作為一種優(yōu)選的方案，測(cè)量本體為PE管、或PP管、或PVC管。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的另一種技術(shù)方案為：一種測(cè)量多晶硅鑄造用石英坩堝內(nèi)部寬度的測(cè)量裝置，包括長(zhǎng)度已知的管狀測(cè)量本體，測(cè)量本體中活動(dòng)穿設(shè)有測(cè)量尺，測(cè)量尺伸出測(cè)量本體的一端與輔套管固定連接，且測(cè)量尺的0刻度位于輔套管的管端處，管狀測(cè)量本體上設(shè)有握持桿，輔套管上設(shè)有施力桿，測(cè)量本體上沿長(zhǎng)度方向設(shè)有導(dǎo)向槽，測(cè)量尺上設(shè)有穿過(guò)導(dǎo)向槽的導(dǎo)向柱，導(dǎo)向柱穿出導(dǎo)向槽的部分上設(shè)有測(cè)量尺鎖定裝置。

作為一種優(yōu)選的方案，導(dǎo)向柱穿出導(dǎo)向槽的部分上設(shè)有螺紋，所述鎖定裝置為設(shè)置在導(dǎo)向柱上的鎖定桿，鎖定桿底部設(shè)有螺紋孔，導(dǎo)向柱上部穿設(shè)在螺紋孔內(nèi)。

作為一種優(yōu)選的方案，測(cè)量本體長(zhǎng)度為500—1000mm，測(cè)量尺的長(zhǎng)度為300—500mm。

作為一種優(yōu)選的方案，測(cè)量本體為PE管、或PP管、或PVC管。

本實(shí)用新型的有益效果是：本裝置采用了伸縮結(jié)構(gòu)，可以方便快速地測(cè)量各種規(guī)格的坩堝內(nèi)部尺寸，而且由于設(shè)置了握持桿和施力桿，即使測(cè)量坩堝底部尺寸也十分方便。

由于測(cè)量本體上沿長(zhǎng)度方向設(shè)有導(dǎo)向槽，測(cè)量尺上設(shè)有穿過(guò)導(dǎo)向槽的導(dǎo)向柱，導(dǎo)向柱穿出導(dǎo)向槽的部分上設(shè)有測(cè)量尺鎖定裝置，坩堝較深讀數(shù)不便時(shí)可將測(cè)量尺位置鎖定，然后將測(cè)量裝置取出后進(jìn)行讀數(shù)。

由于測(cè)量本體為PE管、或PP管、或PVC管，可以避免損壞坩堝內(nèi)部涂層。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的實(shí)施例1結(jié)構(gòu)示意圖。