[實用新型]一種用于濺射鍍膜的輔助氣體供氣系統

有效

• 申請號: 201721723909.5
• 申請日: 2017-12-12
• 公開（公告）號: CN207619519U
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發明（設計）人: 穆鍵;李金成
• 申請（專利權）人: 上海北玻鍍膜技術工業有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 常曉虎

一種用于濺射鍍膜的輔助氣體供氣系統，包括供氣站、供氣管路和氣體分配模塊，供氣管路包括主管路和分支管路，主管路包括與供氣站連接的氧氣管路、氮氣管路和氬氣管路，每條主管路均連接有五條分支管，氧氣管路的分支管、氮氣管路的分支管以及氬氣管路的分支管之間通過四通管連接，每個四通管上均連接有與氣體分配模塊連接的分配管路，氣體分配模塊包括五個分段供氣單元，分段供氣單元設置在濺射室內，并沿濺射室長度方向布置，由分段供氣單元為濺射室供氣，每個分段供氣單元與一條分配管路連通，每條分支管上設有閥門。本實用新型可實現在濺射室內不同部位通入不同種類的輔助氣體，并控制輔助氣體的用量，改善雙銀玻璃和三銀玻璃膜層的均勻性。

技術領域

本實用新型涉及鍍膜玻璃生產技術領域，具體的說是一種用于濺射鍍膜的輔助氣體供氣系統。

背景技術

磁控濺射技術被應用大面積玻璃鍍膜領域，大面積鍍膜玻璃主要應用于建筑幕墻，因此，鍍膜玻璃的外觀顏色均勻度成為鍍膜玻璃成品的一項重要性能指標。隨著鍍膜技術的不斷提高，以及市場對鍍膜玻璃性能的要求不斷提高，雙銀和三銀鍍膜玻璃的市場需求日益增大。但是，與單銀鍍膜玻璃相比，雙銀和三銀鍍膜玻璃的膜層結構更為復雜，產品顏色均勻性的調節與控制成為生產的一項技術難題。

發明內容

針對上述現有技術中雙銀和三銀鍍膜玻璃產品的顏色均勻性條調節和控制難度大的問題，本實用新型提供一種用于濺射鍍膜的輔助氣體供氣系統，通過輔助氣體供氣系統的改進，實現在濺射室內不同部位通入不同種類的輔助氣體，并控制輔助氣體的用量，改善雙銀玻璃和三銀玻璃膜層的均勻性。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為：

一種用于濺射鍍膜的輔助氣體供氣系統，包括供氣站、供氣管路和氣體分配模塊，所述的供氣管路包括主管路和分支管路，主管路包括與供氣站連接的氧氣管路、氮氣管路和氬氣管路，每條主管路均連接有五條分支管，氧氣管路的分支管、氮氣管路的分支管以及氬氣管路的分支管之間通過四通管連接，每個四通管上均連接有與氣體分配模塊連接的分配管路，氣體分配模塊包括五個分段供氣單元，分段供氣單元設置在濺射室內，并沿濺射室長度方向布置，由分段供氣單元為濺射室供氣，每個分段供氣單元與一條分配管路連通，每條分支管上設有閥門，以控制所在分支管的開閉以及氣體流量。

所述的閥門為電磁控制閥。

所述的分段供氣單元上設有多個出氣孔。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型中，各個分段供氣單元均可以選用不同種類的輔助氣體，這樣在濺射室內就可以根據需要調整不同位置輔助氣體的種類以及每種輔助氣體的流量，確保各個位置沉積效率基本一致，成膜厚度基本一致，膜層均勻，對于雙銀和三銀鍍膜玻璃的均勻性控制非常有利。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是各個分支管的分布示意圖；

圖中標記：1、供氣站，2、氧氣管路，3、氮氣管路，4、氬氣管路，5、第一供氣單元，6、第二供氣單元，7、第三供氣單元，8、第四供氣單元，9、第五供氣單元，10、四通管，11、電磁控制閥，12、分支管，13、第一分配管路，14、第二分配管路，15、第三分配管路，16、第四分配管路，17、第五分配管路。

圖中的箭頭所示方向為氣體的流向。

具體實施方式

下面結合附圖，通過具體的實施方式，對本實用新型的技術方案作進一步的說明。