[實用新型]一種晶圓檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721722807.1
• 申請日: 2017-12-12
• 公開（公告）號: CN207503936U
• 公開（公告）日: 2018-06-15
• 發(fā)明（設計）人: 董新杰
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種晶圓檢測裝置，其特征在于，包括：

卡盤，所述卡盤位于所述晶圓下方；

支撐外環(huán)和支撐內(nèi)環(huán)，所述支撐外環(huán)和所述支撐內(nèi)環(huán)同心設置，所述支撐外環(huán)與所述支撐內(nèi)環(huán)之間通過沿所述支撐外環(huán)徑向設置的連接桿相連，所述支撐內(nèi)環(huán)和所述支撐外環(huán)設置于所述卡盤下方；

位置傳感器，所述位置傳感器設置于所述連接桿的下方，且位于所述支撐外環(huán)和所述支撐內(nèi)環(huán)之間。

2.根據(jù)權利要求1所述的晶圓檢測裝置，其特征是，所述支撐外環(huán)和所述支撐內(nèi)環(huán)之間設有沿所述支撐內(nèi)環(huán)周向設置的彈性元件，所述彈性元件一端與所述連接桿相連。

3.根據(jù)權利要求2所述的晶圓檢測裝置，其特征是，所述彈性元件為回復彈簧。

4.根據(jù)權利要求3所述的晶圓檢測裝置，其特征是，所述連接桿包括第一連接桿、第二連接桿、第三連接桿、第四連接桿、第五連接桿以及第六連接桿，所述第一連接桿、所述第二連接桿、所述第三連接桿、所述第四連接桿、所述第五連接桿以及所述第六連接桿沿所述支撐外環(huán)周向均勻分布。

5.根據(jù)權利要求4所述的晶圓檢測裝置，其特征是，所述第一連接桿、所述第三連接桿、所述第四連接桿以及所述第六連接桿均連有所述回復彈簧。

6.根據(jù)權利要求1所述的晶圓檢測裝置，其特征是，所述位置傳感器為紅外傳感器。

7.根據(jù)權利要求1所述的晶圓檢測裝置，其特征是，所述位置傳感器為電感傳感器。

8.一種濕法刻蝕設備，其特征在于，所述濕法刻蝕設備頂部設有如權利要求1～7任意一項所述晶圓檢測裝置。