[實(shí)用新型]等離子化學(xué)氣相沉積裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721720901.3
• 申請日: 2017-12-12
• 公開（公告）號: CN207727148U
• 公開（公告）日: 2018-08-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張志強(qiáng);彭帆;楊平
• 申請（專利權(quán)）人: 上海稷以科技有限公司
• 主分類號: C23C16/513
• 分類號: C23C16/513;C23C16/52
• 代理公司: 上海立群專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31291
• 代理人: 侯莉

1.一種等離子化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，包括陽極、陰極及至少一個(gè)調(diào)節(jié)電路；所述陽極上連接有基底；

通過調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)電路的阻抗，能夠調(diào)節(jié)所述陽極的電壓，以控制等離子對所述基底的轟擊能量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)電路包括一電感及一電容；所述電容的一端連接所述陽極，另一端通過所述電感接地。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的等離子化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述陰極通過一匹配電路連接至射頻電源。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述調(diào)節(jié)電路有兩個(gè)，所述陰極及所述陽極分別通過一個(gè)所述調(diào)節(jié)電路接地；

所述調(diào)節(jié)電路包括一電容及所述電容串聯(lián)的電感。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的等離子化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述裝置還包括射頻電源、匹配電路及變壓器；

所述射頻電源通過所述匹配電路連接至所述變壓器的輸入端，所述變壓器的輸出端分別與所述陰極及陽極連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的等離子化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，|Z_L1|>|Z_C|且|Z_L1|>|Z_C1|，其中，Z_L1為所述調(diào)節(jié)電路中的電感的阻抗，Z_c1為所述調(diào)節(jié)電路中的與電感串聯(lián)的電容的阻抗，Z_C為所述陰極與所述陽極之間的耦合電容的阻抗。

7.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的等離子化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，通過調(diào)節(jié)所述調(diào)節(jié)電路中的電容的阻抗，來調(diào)節(jié)所述陽極的電壓，以控制等離子對所述基底的轟擊能量。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述基底通過機(jī)械卡盤或者靜電卡盤固定于所述陽極上。