[實用新型]一種精密超聲等離子處理系統

有效

• 申請號: 201721704627.0
• 申請日: 2017-12-08
• 公開（公告）號: CN207603977U
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 盧春進
• 申請（專利權）人: 達格測試設備(蘇州)有限公司
• 主分類號: H05H1/24
• 分類號: H05H1/24
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 關家強

本實用新型屬于多層線路板等離子處理領域，其公開了一種精密超聲等離子處理系統，包括：殼體、殼體上部的反應腔、殼體下部的控制腔，所述反應腔設置有封閉門，所述控制腔設置有控制腔門，在靠近封閉門的反應腔殼體處設置有等離子控制單元和人機界面；在所述反應腔內設置有等離子電極板、導軌、承載機構固定塊和冷卻水管，所述等離子電極板正負電極交替排布，所述導軌和承載機構固定塊設置于反應腔底部。通過上述方式，本實用新型能夠解決目前線路板行業內等離子處理系統對電路板處理均勻性不好，效率不高等技術問題。

技術領域

本實用新型涉及多層線路板等離子處理領域，特別是涉及一種精密超聲等離子處理系統。

背景技術

隨著電子產品消費需求和電子制造技術的快速發展，對高精密PCB板的制造也提出了更高的要求。等離子處理應用在多層線路板的制造也已實現。但是在處理效率和處理效果的均勻性和穩定性方面一直是行業的難點。

現在應用于多層線路板制造工藝的等離子處理設備在等離子場的控制方面仍然是一個比較大的挑戰。由于系統結構和處理殘渣廢氣排出的要求，等離子場比較難以實現理論上的均一狀態，在實際應用中都是控制其在反應室內的動態平衡。目前行業內對系統的處理氣體，真空系統，廢氣排出和等離子反應室及其電極板未能達到實時的檢測并控制處理效果。

實用新型內容

本實用新型主要解決的技術問題是提供一種精密超聲等離子處理系統，能夠解決目前線路板行業內等離子處理系統對電路板處理均勻性不好，效率不高等技術問題。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的一個技術方案是：提供一種精密超聲等離子處理系統，包括：殼體、殼體上部的反應腔、殼體下部的控制腔，所述反應腔設置有封閉門，所述控制腔設置有控制腔門，在靠近封閉門的反應腔殼體處設置有等離子控制單元和人機界面；

在所述反應腔內設置有等離子電極板、導軌、承載機構固定塊和冷卻水管，所述等離子電極板正負電極交替排布，所述導軌和承載機構固定塊設置于反應腔底部；

在所述控制腔內設置有電源、強電控制箱、真空泵系統和冷卻水管，所述電源靠近冷卻水管接口設置，所述強電控制箱內設置有：電源總開關、電源噪聲濾波器、交流變頻器和軟啟動器，所述真空泵系統包括羅茨泵和爪式干泵，所述真空泵系統連接至反應腔內。

優選的，所述封閉門上設置有玻璃窗，所述玻璃窗內側設置有金屬屏蔽網，用來隔離電離輻射，并能夠滿足電磁兼容要求。

優選的，在所述封閉門的內側設置有橫向隔離桿，用來隔離定位反應腔內部的被處理對象。

優選的，在所述反應腔的背部設置有回流管，所述回流管與冷卻水管之間設置有導聯桿，實現了對極板冷卻水的交換。

優選的，所述電源設置有電源導聯桿，用于將等離子電源分配給各個電極板。

優選的，所述反應腔內還設置有溫度傳感器，用于監控等離子電極板和反應腔內的溫度。

優選的，所述反應腔靠近封閉門的邊緣處還設置有感知開關，可以檢測到封面門的開閉，增強了系統的安全性。

優選的，所述等離子控制單元采用EPC控制器，實現了專用的等離子處理控制功能，避免了無關功能可能帶來的其他不確定性。

本實用新型的有益效果是：本實用新型與現有技術相比，在等離子場強的均一性控制方面得到提高，初步估算均勻性指標達到行業內已有性能參數的2.7倍以上；另外等離子電極板正負電極交替排布，讓處理氣體的放電距離大幅縮短，同時新型電極板間的等離子擴散距離也進一步縮短，這樣使得等離子能夠快速達到平衡，保證場強穩定以到達均一的處理效果。

附圖說明

圖1是本實用新型一種精密超聲等離子處理系統一較佳實施例的立體結構

示意圖；