[實用新型]利用承載氣體進行磷化物原位注入合成的系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721700715.3
• 申請日: 2017-12-08
• 公開（公告）號: CN207596469U
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發(fā)明（設計）人: 孫聶楓;王書杰;劉惠生;孫同年
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十三研究所
• 主分類號: C01B25/08
• 分類號: C01B25/08
• 代理公司: 石家莊眾志華清知識產權事務所(特殊普通合伙) 13123
• 代理人: 王苑祥

1.一種利用承載氣體進行磷化物原位注入合成的系統(tǒng)，包括爐體（1）、設置在所述爐體（1）的爐腔內的坩堝（2）、坩堝加熱裝置（3）、設置在爐體（1）和坩堝加熱裝置（3）間的保溫裝置（15）、設置在坩堝（2）上方的磷源爐（4），其特征在于：在所述爐體（1）上設有承載氣體進氣管（5）和承載氣體排氣管（6），所述承載氣體進氣管（5）穿過爐體（1）與所述磷源爐（4）相通，所述承載氣體排氣管（6）與所述爐體（1）的爐腔相通。

2.根據(jù)權利要求1所述的利用承載氣體進行磷化物原位注入合成的系統(tǒng)，其特征在于：在所述承載氣體進氣管（5）上設有第一減壓閥（7）和第一流量計（8），所述第一減壓閥（7）和所述第一流量計（8）位于所述爐體（1）外。

3.根據(jù)權利要求1所述的利用承載氣體進行磷化物原位注入合成的系統(tǒng)，其特征在于：在所述承載氣體排氣管（6）上設有第二減壓閥（9）和第二流量計（10），所述第二減壓閥（9）和所述第二流量計（10）位于所述爐體（1）外。

4.根據(jù)權利要求1所述的利用承載氣體進行磷化物原位注入合成的系統(tǒng)，其特征在于：在所述爐體（1）上設有壓力表（11）。

5.根據(jù)權利要求1所述的利用承載氣體進行磷化物原位注入合成的系統(tǒng)，其特征在于：在所述爐體（1）上設有觀察窗（14）。

6.根據(jù)權利要求1所述的利用承載氣體進行磷化物原位注入合成的系統(tǒng)，其特征在于：所述承載氣體排氣管（6）與位于所述爐體（1）外的吸收器（12）內的水相通。

7.根據(jù)權利要求1-6任一項所述的利用承載氣體進行磷化物原位注入合成的系統(tǒng)，其特征在于：所述磷源爐（4）的結構中包括固體磷裝載器（4-1）、位于所述固體磷裝載器（4-1）外的保溫套（4-2）、設置在所述保溫套（4-2）內的加熱絲（4-3）以及連通固體磷裝載器（4-1）與坩堝（2）內熔體的注入管（4-4）。

8.根據(jù)權利要求7所述的利用承載氣體進行磷化物原位注入合成的系統(tǒng)，其特征在于：在所述承載氣體進氣管（5）上設有承載氣體加熱裝置（13），所述承載氣體加熱裝置（13）位于爐體（1）的爐腔內，所述承載氣體加熱裝置（13）的結構中包括具有承載氣體加熱腔（13-2）的承載氣體加熱管（13-1）、設置在所述承載氣體加熱管（13-1）上的承載氣體加熱絲（13-3）以及連通所述承載氣體加熱管（13-1）與所述磷源爐（4）的承載氣體注入管（13-4）。

9.根據(jù)權利要求8所述的利用承載氣體進行磷化物原位注入合成的系統(tǒng)，其特征在于：在所述承載氣體加熱管（13-1）內設有承載氣體加熱多管管道（13-5）。

10.根據(jù)權利要求8或9所述的利用承載氣體進行磷化物原位注入合成的系統(tǒng)，其特征在于：所述磷源爐（4）和所述承載氣體加熱裝置（13）設置在連接套（16）內，在所述磷源爐（4）和所述承載氣體加熱裝置（13）間設有隔熱層（17）。