[實用新型]一種一體式封閉式石墨盒

有效

• 申請號: 201721697555.1
• 申請日: 2017-12-08
• 公開（公告）號: CN207699662U
• 公開（公告）日: 2018-08-07
• 發明（設計）人: 谷龍艷;雷巖;鄭直;高遠浩;何偉偉;朱聰旭;鐵偉偉
• 申請（專利權）人: 許昌學院
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44
• 代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102
• 代理人: 喬宇

1.一種一體式封閉式石墨盒，其特征在于：包括石墨盒本體(1)、與石墨盒本體相匹配的石墨蓋(2)和用于放置預沉積襯底的石墨墊片(3)，石墨蓋(2)蓋設在石墨盒本體(1)上；

石墨墊片(3)設置在石墨盒本體(1)中并將石墨盒本體(1)分隔成上腔體和用于放置可氣化物質的下腔體，石墨墊片(3)上均勻分布有通孔(3.1)，石墨墊片上開設有用于放置預沉積襯底的橫槽(3.2)和/或縱槽(3.3)。

2.根據權利要求1所述的一體式封閉式石墨盒，其特征在于：所述的一體式封閉式石墨盒整體為圓柱形，所述上腔體的橫截面為矩形，所述下腔體的橫截面為弧形，所述弧形的最長的弦的長度與所述矩形的底邊的長度一致，所述上腔體的軸向長度大于下腔體的軸向長度，所述石墨墊片(3)擱在下腔體上。

3.根據權利要求1所述的一體式封閉式石墨盒，其特征在于：所述石墨蓋(2)下方設置有凸出部(2.2)，所述凸出部(2.2)伸入上腔體內并與上腔體的內側壁上方配合。

4.根據權利要求1所述的一體式封閉式石墨盒，其特征在于：上腔體的高度為下腔體的高度的2倍。

5.根據權利要求1所述的一體式封閉式石墨盒，其特征在于：所述石墨蓋(2)頂部沿縱向開設有溝槽(2.1)。

6.根據權利要求1所述的一體式封閉式石墨盒，其特征在于：所述石墨墊片(3)上開設的橫槽(3.2)和/或縱槽(3.3)的深度為石墨墊片的厚度的二分之一。