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[實用新型]用于外腔可調諧激光器的寬帶透射光柵有效

專利信息
申請號: 201721687704.6 申請日: 2017-12-07
公開(公告)號: CN207488526U 公開(公告)日: 2018-06-12
發明(設計)人: 徐建衛 申請(專利權)人: 上海矽安光電科技有限公司
主分類號: G02B5/18 分類號: G02B5/18;H01S5/14
代理公司: 上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297 代理人: 周高
地址: 200233 上海市徐匯*** 國省代碼: 上海;31
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摘要:
搜索關鍵詞: 透射光柵 光柵層 寬帶 外腔可調諧激光器 襯底 高折射率材料 本實用新型 光柵占空比 外腔激光器 透明材料 衍射效率 折射率 波長 可調 刻蝕
【權利要求書】:

1.一種用于外腔可調諧激光器的寬帶透射光柵,其特征在于,包括一透明材料制成的襯底,所述襯底上設有高折射率材料制成的光柵層,該光柵層折射率為2.71,所述光柵層的周期為0.85-1微米、刻蝕深度為100-280納米,所述光柵層的光柵占空比為0.5。

2.如權利要求1所述的用于外腔可調諧激光器的寬帶透射光柵,其特征在于,所述光柵層的周期為920納米、刻蝕深度為190納米。

3.如權利要求2所述的用于外腔可調諧激光器的寬帶透射光柵,其特征在于,所述襯底為熔融石英。

4.如權利要求3所述的用于外腔可調諧激光器的寬帶透射光柵,其特征在于,所述光柵層為二氧化鈦薄膜。

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