[實用新型]用于外腔可調諧激光器的寬帶透射光柵有效
| 申請號: | 201721687704.6 | 申請日: | 2017-12-07 |
| 公開(公告)號: | CN207488526U | 公開(公告)日: | 2018-06-12 |
| 發明(設計)人: | 徐建衛 | 申請(專利權)人: | 上海矽安光電科技有限公司 |
| 主分類號: | G02B5/18 | 分類號: | G02B5/18;H01S5/14 |
| 代理公司: | 上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297 | 代理人: | 周高 |
| 地址: | 200233 上海市徐匯*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 透射光柵 光柵層 寬帶 外腔可調諧激光器 襯底 高折射率材料 本實用新型 光柵占空比 外腔激光器 透明材料 衍射效率 折射率 波長 可調 刻蝕 | ||
1.一種用于外腔可調諧激光器的寬帶透射光柵,其特征在于,包括一透明材料制成的襯底,所述襯底上設有高折射率材料制成的光柵層,該光柵層折射率為2.71,所述光柵層的周期為0.85-1微米、刻蝕深度為100-280納米,所述光柵層的光柵占空比為0.5。
2.如權利要求1所述的用于外腔可調諧激光器的寬帶透射光柵,其特征在于,所述光柵層的周期為920納米、刻蝕深度為190納米。
3.如權利要求2所述的用于外腔可調諧激光器的寬帶透射光柵,其特征在于,所述襯底為熔融石英。
4.如權利要求3所述的用于外腔可調諧激光器的寬帶透射光柵,其特征在于,所述光柵層為二氧化鈦薄膜。
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