[實用新型]拋光混洗機有效
| 申請號: | 201721687298.3 | 申請日: | 2017-12-06 |
| 公開(公告)號: | CN208495164U | 公開(公告)日: | 2019-02-15 |
| 發明(設計)人: | 李繼忠;李述周 | 申請(專利權)人: | 常州科沛達清洗技術股份有限公司 |
| 主分類號: | B08B3/08 | 分類號: | B08B3/08;B08B3/10 |
| 代理公司: | 常州市科誼專利代理事務所 32225 | 代理人: | 孫彬 |
| 地址: | 213000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 主框架 混洗裝置 混洗 本實用新型 藍寶石 拋動裝置 拋光 沖洗槽 回收槽 酸槽 襯底清洗 進口設備 生產企業 升降運動 儀表裝置 自動配液 晶圓片 導管 花籃 | ||
1.一種拋光混洗機,其特征在于:包括主框架,所述主框架內設有至少一組混洗裝置,所述主框架外側設有用于混洗裝置的混洗液的自動配液箱,所述主框架上設有控制混洗裝置的儀表裝置,每組混洗裝置包括酸槽、快排沖洗槽和拋動裝置,所述拋動裝置使得工件花籃在所述快排沖洗槽內進行升降運動,所述主框架內還設有回收槽,所述回收槽通過導管與所述酸槽連接。
2.根據權利要求1所述的拋光混洗機,其特征在于:所述主框架采用不銹鋼制成,所述主框架的外側設有一層PP板材。
3.根據權利要求1所述的拋光混洗機,其特征在于:所述快排沖洗槽下部設有進水管和排水閥,所述快排沖洗槽內上端設有噴管,所述噴管上設有若干噴淋頭。
4.根據權利要求1所述的拋光混洗機,其特征在于:所述酸槽內設有加熱管,所述加熱管通過螺栓固定在所述酸槽的內壁上。
5.根據權利要求4所述的拋光混洗機,其特征在于:所述酸槽上部設有排風管道,所述排風管道內設有導熱板,所述排風管道連接所述主框架上的排風口。
6.根據權利要求1所述的拋光混洗機,其特征在于:所述回收槽分為內槽和外槽,所述內槽內設有冷卻管,所述內槽和外槽通過加強板連接。
7.根據權利要求1所述的拋光混洗機,其特征在于:所述拋動裝置包括驅動組件和吊臂,所述驅動組件包括電機和固定框,所述吊臂前端設有吊住工件花籃的吊鉤,所述吊臂通過壓緊板與固定框可滑動連接。
8.根據權利要求7所述的拋光混洗機,其特征在于:所述驅動組件與吊臂之間還設有防腐板。
9.根據權利要求1所述的拋光混洗機,其特征在于:所述主框架兩側還設有可拆卸的門板。
10.根據權利要求3所述的拋光混洗機,其特征在于:所述快排沖洗槽內放置工件花籃的下方設有勻流板。
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