[實用新型]用于晶圓片單面刷洗機的槽體有效
| 申請號： | 201721687296.4 | 申請日： | 2017-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN207503935U | 公開（公告）日： | 2018-06-15 |
| 發明（設計）人： | 李繼忠;李述周 | 申請（專利權）人： | 常州市科沛達超聲工程設備有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;B08B3/04 |
| 代理公司： | 常州市科誼專利代理事務所 32225 | 代理人： | 孫彬 |
| 地址： | 213025 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 中空腔體 磁流體 晶圓片 刷洗機 腔室 底板 本實用新型 內隔板 槽體 整體密封性能 藍寶石 清潔效果 右側板 中空腔 左側板 蓋板 后板 前板 密封 體內 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于晶圓片單面刷洗機的槽體，包括呈長方形的中空腔體，該中空腔體包括左側板、右側板、前板、后板、底板和蓋板，其特征在于：所述中空腔體內設有：
內隔板，所述內隔板將中空腔體分成若干獨立的腔室；
旋轉磁流體，每個獨立的腔室中設有一個旋轉磁流體，所述旋轉磁流體設在底板上用于與腔室之間的密封。
2.根據權利要求1所述的用于晶圓片單面刷洗機的槽體，其特征在于：所述每個獨立的腔室內還設有溢流盒，所述溢流盒固定在所述內隔板上，所述溢流盒包括溢流盒前板、溢流盒底板和溢流盒后板。
3.根據權利要求1所述的用于晶圓片單面刷洗機的槽體具，其特征在于：所述左、右側板與底板之間設有撐板，所述撐板的端部設有固定板。
4.根據權利要求1所述的用于晶圓片單面刷洗機的槽體，其特征在于：所述左、右側板與蓋板連接處設有固定塊。
5.根據權利要求1所述的用于晶圓片單面刷洗機的槽體，其特征在于：所述蓋板上設有擋水圈。
6.根據權利要求1所述的用于晶圓片單面刷洗機的槽體，其特征在于：所述中空腔體采用PVC板材焊接制成。
7.根據權利要求1所述的用于晶圓片單面刷洗機的槽體，其特征在于：所述旋轉磁流體包括上管件和下管件，所述上管件套設在下管件的外側。
8.根據權利要求7所述的用于晶圓片單面刷洗機的槽體，其特征在于：所述下管件的外部還設有防水管。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于常州市科沛達超聲工程設備有限公司，未經常州市科沛達超聲工程設備有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201721687296.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
