[實用新型]一種超純水處理系統

有效

• 申請號: 201721686647.X
• 申請日: 2017-12-06
• 公開（公告）號: CN207567042U
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 逯安國
• 申請（專利權）人: 杭州真水流體技術有限公司
• 主分類號: C02F9/06
• 分類號: C02F9/06;C02F103/04
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本實用新型公開了一種超純水處理系統，包括原水槽、預處理裝置、軟水處理裝置、超濾處理裝置、反滲透處理裝置和脫氧EDI裝置，原水槽的一端連接有原水進管，原水進管的另一端連接預處理裝置，預處理裝置連接軟水處理裝置，軟水處理裝置連接超濾處理裝置，超濾處理裝置連接反滲透處理裝置，反滲透處理裝置連接脫氧EDI裝置，脫氧EDI裝置連接有溫床離子樹脂槽，溫床離子樹脂槽連接有終端超濾設備，終端超濾設備連接有回水TOC?UV機，回水TOC?UV機連接有超純水出管。通過設置預處理裝置進行大分子過濾操作，結合軟水處理裝置、超濾處理裝置、反滲透處理裝置，對水進行深化處理，進一步提高過濾效果，保證超純水的純度；通過設置脫氧EDI裝置，大大提高了脫氣性能。

技術領域

本實用新型涉及一種超純水處理系統。

背景技術

純水，既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水，電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)。常用于集成電路工業中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超純水。但是要想達到超純水的要求，一般都需要經過很多道工序，生產裝置結構復雜，且生產效率低下。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種超純水處理系統，該系統結構簡單、科學便利、針對性強，通過設置預處理裝置進行大分子過濾操作，結合軟水處理裝置、超濾處理裝置、反滲透處理裝置，對水進行深化處理，進一步提高過濾效果，保證超純水的純度；通過設置脫氧EDI裝置，大大提高了脫氣性能，本實用新型能夠有效實現超純水的提純操作，大大提高生產效率，安全高效。

為了解決上述技術問題，采用如下技術方案：

一種超純水處理系統，包括原水槽、預處理裝置、軟水處理裝置、超濾處理裝置、反滲透處理裝置和脫氧EDI裝置，原水槽的一端連接有原水進管，原水進管的另一端連接預處理裝置，預處理裝置連接軟水處理裝置，軟水處理裝置連接超濾處理裝置，超濾處理裝置連接反滲透處理裝置，反滲透處理裝置連接脫氧EDI裝置，脫氧EDI裝置連接有溫床離子樹脂槽，溫床離子樹脂槽連接有終端超濾設備，終端超濾設備連接有回水TOC-UV機，回水TOC-UV機連接有超純水出管。

進一步，預處理裝置包括覆層過濾器、化學加藥泵和自動再生軟水設備，覆層過濾器的一端連接原水槽，覆層過濾器的另一端連接化學加藥泵，化學加藥泵連接自動再生軟水設備，自動再生軟水設備連接軟水處理裝置。通過設置覆層過濾器、化學加藥泵等設備對水中的懸浮物、對有機物、膠體膠質顆粒、微生物、氯、嗅味及部分重金屬離子進行有效的過濾，降低水體的濁度和色度，凈化水質，減少對后續系統(反滲透、超濾、離子交換器)的污染，提高了超純水過濾的效果和效率。

進一步，軟水處理裝置包括預過濾器、軟水儲槽和軟水泵，預過濾器的一端連接自動再生軟水設備，預過濾器的另一端連接軟水儲槽，軟水儲槽連接軟水泵。通過設置軟水預處理裝置對原水進行軟水處理，方便進行超濾和反滲透處理工作。

進一步，超濾處理裝置包括超濾設備、超濾產水槽、超濾控制泵、超濾清洗組件和超濾反洗組件，超濾設備的進水端連接軟水泵，超濾設備的出水端連接超濾產水槽，超濾產水槽連接超濾控制泵，超濾控制泵連接反滲透處理裝置，超濾清洗組件設置于超濾設備的進水端，超濾反洗組件設置于超濾設備的出水端。通過設置超濾設備，當水流過超濾膜元件的膜表面時，只允許水、無機鹽和小分子物質透過膜，而截留水中的懸浮物、膠體和微生物，以達到凈化分離的目的。該裝置中采用的超濾膜元件，系采用國際先進的膜工藝開發而成，以PVDF膜絲作為膜材料，端頭密封采用不會開裂、不會泄漏的聚胺脂材料，采用更耐污染和耐高懸浮物的外壓式中空纖維超濾膜主件；膜殼耐壓可達到1.0MPa，強度大；超濾膜元件具有通量高，抗污染性能好，性能穩定，檢漏修補方便，使用壽命長等特點，可以滿足大多數反滲透前處理以及中水回用，以適應較高的進水濁度和較強的清洗要求。