[實(shí)用新型]一種真空摻雜裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721685985.1
• 申請(qǐng)日: 2017-12-07
• 公開（公告）號(hào): CN207740457U
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孔凡偉;段花山;黃超陽(yáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東晶導(dǎo)微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): F16J15/06
• 分類號(hào): F16J15/06
• 代理公司: 濟(jì)寧匯景知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 37254
• 代理人: 徐國(guó)印

本實(shí)用新型公開了一種真空摻雜裝置，包括儲(chǔ)氣罐、閥門機(jī)構(gòu)和真空摻雜系統(tǒng)，儲(chǔ)氣罐輸出端和真空摻雜系統(tǒng)的輸入端均連接有玻璃管，閥門機(jī)構(gòu)包括真空閥，真空閥輸入端和輸出端均一體連接有連通座，連通座遠(yuǎn)離真空閥的一端面上設(shè)有圓臺(tái)形的凹槽，凹槽遠(yuǎn)離其開口的一側(cè)壁上設(shè)有與真空閥連接的開孔，凹槽內(nèi)設(shè)有密封墊片，玻璃管的一端延伸至凹槽內(nèi)并與密封墊片相抵，玻璃管與凹槽的側(cè)壁之間設(shè)有密封圈；連通座的外側(cè)螺紋連接有套筒，套筒的內(nèi)圈壁上設(shè)有環(huán)形凸起，且環(huán)形凸起的一端與密封圈的一端相抵，環(huán)形凸起的內(nèi)圈壁上設(shè)有柱形凹腔，柱形凹腔內(nèi)設(shè)有橡膠塊，本實(shí)用新型既可有效延長(zhǎng)密封部件的工作壽命，同時(shí)還提高了密封的效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空摻雜裝置。

背景技術(shù)

在氣體放電系統(tǒng)中，為了獲得穩(wěn)定的放電，常需在充氣之前對(duì)系統(tǒng)抽至一定的真空度，然后充入特定的放電氣體，特別是而當(dāng)需要獲得相對(duì)純凈的放電光譜時(shí)，對(duì)系統(tǒng)的真空度和氣體的純度有著更高的要求。由于橡皮管和金屬管連接的真空裝置存在著慢性漏氣以及不耐腐蝕的問題，因此現(xiàn)有的真空摻雜裝置大多使用耐腐蝕的玻璃管來作為儲(chǔ)氣罐與閥門機(jī)構(gòu)之間以及閥門機(jī)構(gòu)與真空摻雜系統(tǒng)的連接管件，然而玻璃管件的質(zhì)地很脆，其與閥門機(jī)構(gòu)之間難以通過嚴(yán)密的螺紋來實(shí)現(xiàn)高密封性；為此，我們提出一種真空摻雜裝置來解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點(diǎn)，而提出的一種真空摻雜裝置。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案：

一種真空摻雜裝置，包括預(yù)設(shè)數(shù)量的用于儲(chǔ)存不同氣體的儲(chǔ)氣罐，所述儲(chǔ)氣罐通過閥門機(jī)構(gòu)與真空摻雜系統(tǒng)連接，所述儲(chǔ)氣罐輸出端和真空摻雜系統(tǒng)的輸入端均連接有玻璃管，所述閥門機(jī)構(gòu)包括真空閥，所述真空閥輸入端和輸出端均一體連接有連通座，所述連通座遠(yuǎn)離真空閥的一端面上設(shè)有圓臺(tái)形的凹槽，所述凹槽遠(yuǎn)離其開口的一側(cè)壁上設(shè)有與真空閥連接的開孔，所述凹槽內(nèi)設(shè)有密封墊片，所述玻璃管的一端延伸至凹槽內(nèi)并與密封墊片相抵，所述玻璃管與凹槽的側(cè)壁之間設(shè)有密封圈，且密封圈的截面呈楔形；所述連通座的外側(cè)螺紋連接有套筒，所述套筒的內(nèi)圈壁上設(shè)有環(huán)形凸起，且環(huán)形凸起的一端與密封圈的一端相抵，所述環(huán)形凸起的內(nèi)圈壁上設(shè)有柱形凹腔，所述柱形凹腔內(nèi)設(shè)有橡膠塊，所述套筒的外壁上設(shè)有用于將橡膠塊與玻璃管抵緊的緊固螺釘。

優(yōu)選的，所述密封墊片采用聚四氟乙烯墊片。

優(yōu)選的，所述密封圈采用三元乙丙橡膠密封圈。

優(yōu)選的，所述環(huán)形凸起與套筒一體鑄造成型，且環(huán)形凸起靠近套筒的端部設(shè)置。

優(yōu)選的，所述橡膠塊的外圈壁上一體連接有環(huán)形擋塊，且柱形凹腔的內(nèi)圈壁上設(shè)有與環(huán)形擋塊相匹配的環(huán)形槽，所述橡膠塊的外側(cè)套有彈簧，所述彈簧的一端與環(huán)形擋塊連接，且彈簧的另一端與環(huán)形槽的側(cè)壁相抵。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果為：通過在真空閥的進(jìn)氣端和出氣端均設(shè)置連通座，并在連通座內(nèi)設(shè)置密封墊片，可對(duì)儲(chǔ)氣罐與真空閥之間以及真空閥與真空摻雜系統(tǒng)之間進(jìn)行第一道密封；通過在連通座的外側(cè)螺紋連接帶有環(huán)形凸起的套筒，并在玻璃管與連通座之間設(shè)置密封圈，可利用套筒配合環(huán)形凸起將密封圈抵緊，實(shí)現(xiàn)了儲(chǔ)氣罐與真空閥之間以及真空閥與真空摻雜系統(tǒng)之間的第二道密封；此外，密封墊片采用化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的聚四氟乙烯材料，密封圈采用質(zhì)地較為柔軟的三元乙丙橡膠材料，通過兩道密封機(jī)構(gòu)的相配合，既可提高密封結(jié)構(gòu)的防腐蝕能力，延長(zhǎng)密封結(jié)構(gòu)的工作壽命，同時(shí)又可滿足真空摻雜裝置對(duì)高密封性的要求。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型提出的一種真空摻雜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為圖1中A處的局部放大圖。