[實用新型]一種高電流離子注入機末端測流器

有效

• 申請號: 201721682661.2
• 申請日: 2017-12-06
• 公開（公告）號: CN207489825U
• 公開（公告）日: 2018-06-12
• 發明（設計）人: 鄧躍;嚴駿;石慶球
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/265;H01J37/32
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種高電流離子注入機末端測流器，其特征在于：包括測流器本體(1)，所述測流器本體(1)包括接地部(11)、離子注入機末端的連接腔(12)和連接腔(12)側面的隔離部(13)；所述隔離部(13)還包括頂面部(14)、正面部(15)和側面部(16)。

2.根據權利要求1所述的高電流離子注入機末端測流器，其特征在于：所述隔離部(13)還包括導電部件(17)和絕緣部件(18)。

3.根據權利要求2所述的高電流離子注入機末端測流器，其特征在于：所述絕緣部件(18)安裝于所述導電部件(17)的內層。

4.根據權利要求3所述的高電流離子注入機末端測流器，其特征在于：所述絕緣部件(18)包括絕緣部件一(181)、絕緣部件二(182)、絕緣部件三(183)。

5.根據權利要求4所述的高電流離子注入機末端測流器，其特征在于：所述絕緣部件一(181)安裝于所述頂面部(14)，所述絕緣部件二(182)安裝于所述正面部(15)；所述絕緣部件三(183)安裝于所述側面部(16)。

6.根據權利要求5所述的高電流離子注入機末端測流器，其特征在于：所述導電部件包括導電部件一(171)、導電部件二(172)、導電部件三(173)、導電部件四(174)和導電部件五(175)。

7.根據權利要求6所述的高電流離子注入機末端測流器，其特征在于：所述正面部(15)包括連接的斜板部(151)和豎直部(152)。

8.根據權利要求7所述的高電流離子注入機末端測流器，其特征在于：所述導電部件一(171)設置于所述絕緣部件一(181)表面并覆蓋整個絕緣部件一(181)；導電部件二(172)設置于所述斜板部(151)表面；所述導電部件三(173)設置于所述豎直部(152)表面；所述側面部(16)包括橫向凸起部一(161)和橫向凸起部二(162)；所述導電部件四(174)設置于所述橫向凸起部一(161)表面，所述導電部件五(175)設置于所述橫向凸起部二(162)表面。

9.根據權利要求8所述的高電流離子注入機末端測流器，其特征在于：所述絕緣部件(18)為絕緣子。

10.根據權利要求9所述的高電流離子注入機末端測流器，其特征在于：所述導電部件(17)為石墨。