[實用新型]真空干靶箱

有效

• 申請號: 201721675433.2
• 申請日: 2017-12-05
• 公開（公告）號: CN207570221U
• 公開（公告）日: 2018-07-03
• 發明（設計）人: 施繼堅;林志敏;周曉輝;陳雯倩
• 申請（專利權）人: 江蘇天瑞儀器股份有限公司福建分公司
• 主分類號: F26B9/06
• 分類號: F26B9/06;F26B25/00
• 代理公司: 廈門南強之路專利事務所(普通合伙) 35200
• 代理人: 馬應森

真空干靶箱，涉及真空干燥設備。設有機械真空泵、第1電磁閥、第2電磁閥、主腔體、三通接頭和玻璃蓋板；所述機械真空泵、第1電磁閥、第2電磁閥、主腔體、三通接頭和玻璃蓋板通過氣管連接并形成一個回路，機械真空泵的入口通過氣管與第1電磁閥出口連接，第1電磁閥入口通過氣管與三通接頭第1接口連接，三通接頭第2接口通過氣管與第2電磁閥出口連接，三通接頭第3接口通過氣管與主腔體連接。通過真空泵使樣品處在真空狀態，液體的沸點降低，加快液體的干燥。機械真空泵內置在箱體內，外形簡潔大方，方便移動位置。玻璃蓋板用兩個合頁連接方便開啟，抽真空時也可以更好的進行密封。

技術領域

本實用新型涉及真空干燥設備，尤其是樣品靶的真空干靶箱。

背景技術

現有的干靶箱通常采用對流式的工作，即通過空氣的對流運動使樣品靶上的樣品干燥結晶。因為液體表面存在張力，所以剛點完的樣品或者基質會在靶板上形成液珠，如果空氣對流過大，會使液珠破裂甚至濺射，從而造成樣品的污染。此外，對流式的干靶箱所需的干靶時間長，干靶效果受環境影響比較大，當空氣的濕度較大時，干靶效果將會大打折扣，而且空氣中的粉塵和細菌也會對樣品和基質造成污染。

發明內容

本實用新型的目的在于為了克服現有技術中存在的液珠破裂、對環境不可控和干靶時間較長等缺陷，提供采用高真空干燥技術的真空干靶箱。

本實用新型設有機械真空泵、第1電磁閥、第2電磁閥、主腔體、三通接頭和玻璃蓋板；所述機械真空泵、第1電磁閥、第2電磁閥、主腔體、三通接頭和玻璃蓋板通過氣管連接并形成一個回路，機械真空泵的入口通過氣管與第1電磁閥出口連接，第1電磁閥入口通過氣管與三通接頭第1接口連接，三通接頭第2接口通過氣管與第2電磁閥出口連接，三通接頭第3接口通過氣管與主腔體連接。

所述玻璃蓋板可用兩個合頁連接。

本實用新型通過真空泵使樣品處在真空狀態，液體的沸點降低，加快液體的干燥。機械真空泵內置在箱體內，外形簡潔大方，方便移動位置。玻璃蓋板用兩個合頁連接方便開啟，抽真空時也可以更好的進行密封。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例的結構示意圖。

圖2為本實用新型實施例的原理圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步的說明。

參見圖1和2，本實用新型實施例設有機械真空泵1、第1電磁閥2、第2電磁閥3、主腔體4、三通接頭5和玻璃蓋板；所述機械真空泵1、第1電磁閥2、第2電磁閥3、主腔體4、三通接頭5和玻璃蓋板通過氣管連接并形成一個回路，機械真空泵1的入口通過氣管與第1電磁閥2出口連接，第1電磁閥2入口通過氣管與三通接頭5第1接口連接，三通接頭5第2接口通過氣管與第2電磁閥3出口連接，三通接頭5第3接口通過氣管與主腔體4連接。

所述玻璃蓋板可用兩個合頁連接。

本實用新型有三種工作狀態：干靶狀態、存放狀態和放氣狀態。當本實用新型處于干靶狀態時，機械真空泵1處于抽真空狀態，第1電磁閥2處于打開狀態，第2電磁閥3處于關閉狀態；儀器有撥盤按鈕，可根據需要設定干靶時間，當干靶完成后自動轉入存放狀態，第1電磁閥2關閉，機械真空泵1關閉，第2電磁閥3處于關閉狀態；放氣時，機械真空泵1處于關閉狀態，第1電磁閥2處于關閉狀態，第2電磁閥3打開5s后關閉。