[實用新型]一種石墨舟裝卸片機用石墨舟有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721674464.6 | 申請日： | 2017-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN207719165U | 公開（公告）日： | 2018-08-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 徐雷達(dá) | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫創(chuàng)生源自動化設(shè)備有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673;C23C16/458 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34142 | 代理人： | 張加寬 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 石墨舟片 石墨舟 隔塊 本實用新型 硅片 片機 裝卸 鼓風(fēng)機 粉末雜質(zhì) 工作效率 硅片鍍膜 生產(chǎn)效率 碎片收集 下電極塊 電極塊 裝卸機 上端 吹掃 下端 舟片 平行 裝載 | ||
1.一種石墨舟裝卸片機用石墨舟，包括第一石墨舟片(1)及第二石墨舟片(2)，平行設(shè)于第一石墨舟片(1)與第二石墨舟片(2)間的若干個內(nèi)石墨舟片(3)，其特征在于：所述第一石墨舟片(1)與第二石墨舟片(2)的兩端外側(cè)設(shè)有上隔塊(4)，上隔塊(4)的下側(cè)設(shè)有下隔塊(5)，上隔塊(4)與下隔塊(5)上分別設(shè)有上電極塊(6)和下電極塊(7)，所述各舟片上設(shè)有用于裝載硅片的若干個凹槽(8)；所述上隔塊(4)的上端設(shè)有若干個鼓風(fēng)機(9)；所述第一石墨舟片(1)與第二石墨舟片(2)下端所圍成的空間套設(shè)有一層碎片收集袋(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟裝卸片機用石墨舟，其特征在于：所述第一石墨舟片(1)、若干個內(nèi)石墨舟片(3)、第二石墨舟片(2)通過穿設(shè)于其中的螺絲和固定在螺絲外的螺母(11)固定連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟裝卸片機用石墨舟，其特征在于：所述第一石墨舟片(1)、若干個內(nèi)石墨舟片(3)、第二石墨舟片(2)之間均通過陶瓷管(12)相隔離。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟裝卸片機用石墨舟，其特征在于：所述下隔塊(5)的下端設(shè)有支撐腳(13)，支撐腳(13)的底部呈圓弧形凹槽結(jié)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟裝卸片機用石墨舟，其特征在于：所述各舟片上設(shè)有的凹槽(8)表面呈正方形、長方形、圓形或菱形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟裝卸片機用石墨舟，其特征在于：所述內(nèi)石墨舟片(3)的數(shù)量為21片。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
