[實用新型]一種抽氣系統及具有抽氣系統的真空設備

有效

• 申請號: 201721673373.0
• 申請日: 2017-12-05
• 公開（公告）號: CN208123028U
• 公開（公告）日: 2018-11-20
• 發明（設計）人: 廖榮新;禤瑞彬;黃進高
• 申請（專利權）人: 肇慶市前沿真空設備有限公司
• 主分類號: F04B39/00
• 分類號: F04B39/00;F04B39/12;F04B39/16;F04B37/14
• 代理公司: 深圳市道臻知識產權代理有限公司 44360
• 代理人: 朱亞

1.一種抽氣系統，包括真空泵(1)、連接所述真空泵(1)與真空室(2)的抽氣管道(3)以及設于所述抽氣管道(3)上的閥門(4)，其特征在于：還包括用于收集由真空室(2)進入抽氣管道(3)內的雜物的收集室(5)，所述收集室(5)與所述抽氣管道(3)相連通，且所述收集室(5)的雜物入口設于所述抽氣管道(3)的下壁面。

2.根據權利要求1所述的抽氣系統，其特征在于：所述收集室(5)設于所述閥門(4)與所述抽氣管道(3)連接真空室(2)的端部之間。

3.根據權利要求1或2所述的抽氣系統，其特征在于：所述收集室(5)上設有雜物清理口(6)、與所述雜物清理口(6)可拆卸式連接的室蓋。

4.根據權利要求3所述的抽氣系統，其特征在于：所述雜物清理口(6)設于收集室(5)的底部。

5.根據權利要求1所述的抽氣系統，其特征在于：所述抽氣管道(3)與所述真空室(2)的連接一端設有過濾網(7)。

6.一種真空設備，包括真空室(2)，其特征在于：還包括權利要求1-5任一所述的抽氣系統。