[實用新型]一種改善熱盤溫度均勻性的涂膠顯影機有效
| 申請號： | 201721671510.7 | 申請日： | 2017-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN207502911U | 公開（公告）日： | 2018-06-15 |
| 發明（設計）人： | 張旋;張偉 | 申請（專利權）人： | 武漢新芯集成電路制造有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海申新律師事務所 31272 | 代理人： | 俞滌炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 熱盤 本實用新型 涂膠顯影機 溫度均勻性 腔體頂蓋 傳送口 通氣孔 阻隔板 腔體 半導體微影 熱處理模塊 晶元表面 頂蓋 均勻性 側壁 制程 改進 線條 簡易 體內 曝光 覆蓋 | ||
【權利要求書】：
1.一種改善熱盤溫度均勻性的涂膠顯影機，其特征在于：所述涂膠顯影機包括：
腔體，所述腔體內包括：
熱處理模塊，包括一熱盤，所述熱盤一側設置一傳送口，且所述傳送口位于所述腔體的側壁上；
腔體頂蓋，所述腔體頂蓋上設置一通氣孔；
阻隔板，覆蓋于所述通氣孔的一部分。
2.根據權利要求1所述的改善熱盤溫度均勻性的涂膠顯影機，其特征在于：所述阻隔板設置在靠近所述傳送口一側。
3.根據權利要求1所述的改善熱盤溫度均勻性的涂膠顯影機，其特征在于：所述涂膠顯影機的所述腔體外側設置一機器人臂。
4.根據權利要求3所述的改善熱盤溫度均勻性的涂膠顯影機，其特征在于：所述機器人臂靠近所述傳送口設置。
5.根據權利要求1所述的改善熱盤溫度均勻性的涂膠顯影機，其特征在于：所述傳送口處設置一活動門。
6.根據權利要求1所述的改善熱盤溫度均勻性的涂膠顯影機，其特征在于：所述阻隔板與所述頂蓋連接為一整體。
7.根據權利要求1所述的改善熱盤溫度均勻性的涂膠顯影機，其特征在于：所述阻隔板與所述頂蓋材質相同。
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